办理一份晶圆检测报告的的费用大概在700元至8000元左右。
晶圆的检测费用并不是固定的,要根据需要检测的项目而决定。每个项目都有单独的标价,如:掺杂浓度测量,扁平度检查,密度测量等。检测的项目不同,数量不同,总费用都不一样。
一、晶圆检测费用明细表
检测项目(部分) | 检测价格(预估) |
缺陷 | 200 |
表面 | 200 |
衬底 | 300 |
键合 | 100 |
电性 | 100 |
直径测量 | 350 |
厚度测量 | 300 |
平整度检查 | 250 |
表面粗糙度测量 | 200 |
晶格结构分析 | 200 |
晶圆的检测费用会根据不同的检测项目、检测机构以及检测的难易程度有所不同。单项检测项目的费用一般在100至200左右,有些特殊的检测项目费用会比较贵。
二、晶圆检测费用受哪些因素影响
检测机构会依据:GB/T 42706.5-2023《电子元器件 半导体器件长期贮存 第5部分:芯片和晶圆》,DB13/T 5865-2023《晶圆表面颗粒度检查仪校准方法》,GB/T 26066-2010《硅晶片上浅腐蚀坑检测的测试方法》,GB/T 25188-2010《硅晶片表面超薄氧化硅层厚度的测量 X射线光电子能谱法》,GB/T 34177-2017《光刻用石英玻璃晶圆》等相关执行标准中规定的项目进行单独报价。
不同的第三方检测公司根据自身的成本和市场行情都有自己的定价,不同的晶圆第三方检测公司的定价均有一定的差异。
晶圆检测介绍
晶圆是硅半导体集成电路制作所使用的基础材料,原始形态为高纯度的多晶硅,经过单晶直拉法逐渐培养出单晶硅晶棒,再将其研磨、抛光后切割成圆形的硅晶片。这些圆形的硅晶片因形状得名“晶圆”,是集成电路制造的关键要素,其质量和纯净度直接决定了芯片制造的成败。尽管在严格意义上,晶圆可能会有一些缺口和棱角,但通常我们所说的晶圆都是指那些用于生产各类芯片的硅质基材。一份合格的晶圆检测报告,是评估晶圆的重要标准。我们在送检晶圆时,不能只考虑检测费用,还要综合考虑机构的能力与资质。
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