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光刻胶检测服务

服务区域:全国检测费用:面议
检测须知更新时间:2025-04-06

企来检是一家专业的光刻胶第三方检测机构,可以提供光刻胶检测报告办理服务

检测周期:3-7个工作日

送检方式:邮寄送样、上门采样、自主送样(根据样品类型自选)

一、光刻胶常见检测项目说明

1、光刻胶硬度:衡量光刻胶在受到外力作用时抵抗形变的能力,通常使用硬度计进行测量。

2、光刻胶溶解度:指光刻胶在特定溶剂中的溶解能力,通常以百分比表示。

3、光刻胶热稳定性:衡量光刻胶在高温环境下的稳定性能,通常通过热重分析和差示扫描量热法进行评估。

4、光刻胶抗离子污染性能:评价光刻胶对离子污染物的抵抗能力,通常通过离子色谱法进行分析。

5、光刻胶抗蚀性能:衡量光刻胶在酸性或碱性环境下的耐腐蚀性能,通常通过浸泡试验和电化学测试进行评估。

6、光刻胶线宽均匀性:评价光刻胶在光刻过程中形成的线条宽度的一致性,通常通过光学显微镜和扫描电子显微镜进行观察。

7、光刻胶粘度:衡量光刻胶的流动性能,通常使用旋转粘度计进行测量。

8、光刻胶附着力:评价光刻胶与基底材料之间的粘结强度,通常通过剥离试验和划格试验进行评估。

9、光刻胶厚度:衡量光刻胶涂层的厚度,通常使用薄膜测厚仪进行测量。

10、光刻胶抗湿性能:评价光刻胶在潮湿环境下的稳定性能,通常通过湿度试验和吸水率测试进行评估。

二、光刻胶执行标准依据

1、T/ICMTIA 1-2020《集成电路用 ArF 干式光刻胶》

2、T/ICMTIA 2-2020《集成电路用ArF浸没式光刻胶》

3、T/QGCML 2307-2023《光刻胶用低金属含量四甲氧甲基甘脲生产技术要求》

三、光刻胶检测费用参考

办理一份光刻胶检测报告的的费用大概在600元至3000元左右。

检测项目(部分)检测价格(预估)
曝光敏感度
250
抗湿性能
100
厚度
250
粘度
100
抗热冲击性能
400
抗机械冲击性能
200
抗紫外线性能
350
热稳定性
400
抗离子污染性能
100
硬度
150
四、光刻胶检测服务流程

1、预约送检:填写产品预约送检单

2、确认标准:确认光刻胶执行标准

3、确认项目:确认光刻胶需要检测的项目

4、沟通费用:双方沟通最终检测费用

5、送检样品:按实验室要求送样

6、出具报告:为您出具光刻胶检测报告

附:光刻胶检测背景

光刻胶是一种对光敏感的混合液体,由感光树脂、增感剂和溶剂3种主要成分组成的对光敏感的混合液体。光刻胶可以通过光化学反应,经曝光、显影等光刻工序将所需要的微细图形从光罩(掩模版)转移到待加工基片上,是制造芯片过程中不可或缺的关键材料。

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