GB/T 42191-2023《MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法》

GB/T 42191-2023《MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法》基本信息

标准号：GB/T 42191-2023

中文名称：《MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法》

发布日期：2023-05-23    

实施日期：2023-09-01

发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会    

提出单位：全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)    

归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)    

起草单位：北京大学、中机生产力促进中心有限公司、北京智芯传感科技有限公司、昆山昆博智能感知产业技术研究院有限公司、厦门光莆电子股份有限公司、江门市润宇传感器科技有限公司、宁波志伦电子有限公司、广州奥松电子股份有限公司、华东光电集成器件研究所等

起草人：张威、顾枫、李根梓、陈广忠、李宋、张亚婷、张良、陈立国、林瑞梅、李树成、茅曙、张宾、王鹏、李晓波、许宙、王玮冰、陈路、高峰、明志茂、曹万、陈君杰、王冰    

中国标准分类号：L59微型组件

国际标准分类号：31.080.99其他半导体器件

GB/T 42191-2023《MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法》介绍

GB/T 42191-2023《MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法》由国家市场监督管理总局和国家标准化管理委员会于2023年5月23日发布，并将于2023年9月1日正式实施。

一、标准内容解读

1、范围

该标准规定了MEMS压阻式压力敏感器件的性能试验方法，适用于不同类型和用途的MEMS压阻式压力敏感器件的性能测试。

2、规范性引用文件

标准中引用了多个相关的国家和国际标准，为试验方法提供了必要的技术依据。

3、术语和定义

对MEMS压阻式压力敏感器件及相关测试术语进行了明确的定义，以确保测试过程中的术语使用统一、准确。

4、试验条件

详细规定了试验环境、设备和材料的要求，确保试验结果的一致性和可重复性。

5、试验设备

列出了进行性能试验所需的设备和仪器，并对设备的精度和校准提出了具体要求。

6、试验步骤

详细描述了从样品准备到数据记录的整个试验流程，包括压力施加、数据采集、结果分析等步骤。

7、结果评估

对试验结果的评估方法进行了规定，包括误差分析、性能指标的确定等。

8、报告

规定了试验报告的格式和内容，确保报告的完整性和规范性。

二、标准的应用意义

1、提高产品质量

通过规范的测试方法，可以确保MEMS压阻式压力敏感器件的性能达到设计要求，提高产品的可靠性和稳定性。

2、促进技术创新

标准化的测试方法为研发人员提供了一个统一的参考框架，有助于推动技术创新和产品升级。

3、保障消费者权益

准确的性能测试有助于消费者了解产品的实际性能，保障消费者权益。

4、推动产业发展

统一的性能测试标准有助于提升整个行业的技术水平，推动MEMS压阻式压力敏感器件产业的健康发展。

GB/T 42191-2023《MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法》的发布和实施，对于规范MEMS压阻式压力敏感器件的性能测试，提高产品质量，促进技术创新，保障消费者权益以及推动产业发展都具有重要意义。各相关企业和研究机构应严格按照标准执行，确保MEMS压阻式压力敏感器件的性能符合要求。