JB/T 4081-2011《真空技术 溅射离子泵》

JB/T 4081-2011《真空技术  溅射离子泵》基本信息

标准号：JB/T 4081-2011

中文名称：《真空技术  溅射离子泵》

发布日期：2011-12-20    

实施日期：2012-04-01

发布部门：中华人民共和国工业和信息化部    

归口单位：全国真空技术标委会    

起草单位：北京中科科仪技术发展有限责任公司、沈阳真空技术研究所

中国标准分类号：J78真空技术与设备

国际标准分类号：23.160真空技术

JB/T 4081-2011《真空技术  溅射离子泵》介绍

JB/T 4081-2011《真空技术 溅射离子泵》是由中华人民共和国工业和信息化部发布的一项行业标准，于2011年12月20日发布，并于2012年4月1日起正式实施。

一、标准适用范围

JB/T 4081-2011标准主要适用于真空技术领域中使用的溅射离子泵。溅射离子泵是一种利用溅射效应和离子化效应来实现气体分子的泵送和抽气的设备，广泛应用于真空镀膜、真空干燥、真空焊接等工艺中。该标准规定了溅射离子泵的设计、生产、检验和验收等方面的技术要求，为溅射离子泵的生产和使用提供了规范和指导。

二、技术要求

1、设计要求：溅射离子泵的设计应满足真空系统的工作要求，包括抽速、极限压力等性能指标，以及结构、材料、尺寸等方面的要求。

2、材料要求：溅射离子泵的主要材料应具有良好的导电性、导热性和耐腐蚀性，以保证泵的正常工作和使用寿命。

3、制造要求：溅射离子泵的制造应严格按照设计要求进行，包括零部件的加工、组装、焊接等工艺过程，确保泵的质量和性能。

4、性能测试：溅射离子泵在出厂前应进行性能测试，包括抽速、极限压力、噪声等指标的测试，以确保泵的性能符合标准要求。

5、安全要求：溅射离子泵在使用过程中应具有良好的安全性，包括电气安全、机械安全等方面的要求。

三、检验与验收

1、外观检查：对溅射离子泵的外观进行检查，包括零部件的完整性、清洁度、标识等。

2、性能测试：对溅射离子泵的性能进行测试，包括抽速、极限压力、噪声等指标，以评估泵的性能是否符合标准要求。

3、安全测试：对溅射离子泵的电气安全和机械安全进行测试，确保泵在使用过程中的安全性。

4、验收标准：根据测试结果，对溅射离子泵进行验收，只有满足标准要求的泵才能被验收合格。

四、标准意义

JB/T 4081-2011《真空技术 溅射离子泵》标准的制定和实施，对提高我国溅射离子泵的技术水平和产品质量具有重要意义。通过规范溅射离子泵的设计、生产、检验和验收等方面的要求，可以确保泵的性能和可靠性，满足真空技术领域的需求。该标准的实施也有助于推动我国真空技术行业的发展，提升我国在国际真空技术领域的竞争力。