SJ 2795-1987《电子级氮》

SJ 2795-1987《电子级氮》基本信息

标准号：SJ 2795-1987

中文名称：《电子级氮》

发布日期：1987-04-06    

实施日期：1988-01-01

发布部门：中华人民共和国电子工业部    

提出单位：中国电子学会洁净技术学会    

起草单位：电子工业部标准化研究所

起草人：谭易和、赵长春、周定华    

中国标准分类号：A01技术管理

SJ 2795-1987《电子级氮》介绍

SJ 2795-1987《电子级氮》是由中华人民共和国电子工业部于1987年4月6日发布，并从1988年1月1日开始实施的一项行业标准。

一、标准适用范围

SJ 2795-1987《电子级氮》标准适用于电子工业中氮气的生产、储存、运输和使用。电子级氮主要用于电子器件制造、半导体生产、集成电路封装等领域。

二、电子级氮的质量要求

1、纯度要求：电子级氮的纯度要求极高，杂质含量需控制在极低水平。根据SJ 2795-1987标准，电子级氮的氮气纯度应大于或等于99.999%（5N）。

2、杂质含量要求：电子级氮中的杂质含量需严格控制，主要包括氧气、水分、总烃、一氧化碳、二氧化碳等。杂质含量的具体要求如下：

氧气含量：≤1ppm

水分含量：≤0.1ppm

总烃含量：≤0.1ppm

一氧化碳含量：≤0.1ppm

二氧化碳含量：≤0.1ppm

3、微生物含量要求：电子级氮中的微生物含量也需严格控制，以防止微生物污染对电子器件造成损害。

三、电子级氮的生产与检验

1、生产方法：电子级氮的生产方法主要包括深冷法、变压吸附法和膜分离法等。企业应根据自身条件选择合适的生产方法，并严格按照生产操作规程进行生产。

2、检验方法：电子级氮的检验方法主要包括气相色谱法、化学发光法、红外光谱法等。企业应建立完善的质量控制体系，定期对产品进行检验，确保产品质量符合标准要求。

3、储存与运输：电子级氮的储存和运输应采取严格的安全措施，避免泄漏、污染和氧化等风险。

SJ 2795-1987《电子级氮》标准的制定和实施，对于规范电子级氮的生产、检验和应用，提高电子工业产品质量具有重要意义。企业应严格按照标准要求进行生产和检验，不断提高产品质量。