SJ 20026-1992《金属氧化物半导体气敏件测试方法》

SJ 20026-1992《金属氧化物半导体气敏件测试方法》基本信息

标准号：SJ 20026-1992

中文名称：《金属氧化物半导体气敏件测试方法》

发布日期：1992-02-01    

实施日期：1992-05-01

发布部门：中国电子工业总公司    

提出单位：中国电子工业总公司科技质量局    

归口单位：中国电子技术标准化研究所    

起草单位：国营四三二二厂

起草人：孟长年、孟繁英    

中国标准分类号：A01技术管理

SJ 20026-1992《金属氧化物半导体气敏件测试方法》介绍

中国电子工业总公司于1992年发布了SJ 20026-1992《金属氧化物半导体气敏件测试方法》标准。

一、标准概述

SJ 20026-1992标准规定了金属氧化物半导体气敏元件的测试方法，包括术语定义、测试条件、测试仪器、测试项目、测试步骤、结果评定等内容。

二、术语定义

标准首先对气敏元件、灵敏度、选择性等关键术语进行了明确的定义。气敏元件是指能够将气体浓度变化转化为电参数变化的元件；灵敏度是指气敏元件对特定气体的响应程度；选择性是指气敏元件对不同气体的响应差异。

三、测试条件

为保证测试结果的准确性和可重复性，标准规定了测试条件的要求。包括温度、湿度、气体浓度、测试时间等。测试应在规定的环境条件下进行，以确保测试结果的一致性。

四、测试仪器

标准对测试仪器的类型、精度、操作要求等进行了规定。测试仪器应包括气敏元件测试仪、气体发生器、气体分析仪器等。测试仪器应定期校准，以保证测试结果的准确性。

五、测试项目

SJ 20026-1992标准规定了气敏元件的测试项目，包括灵敏度、选择性、稳定性、响应时间、恢复时间等。这些测试项目能够全面评价气敏元件的性能。

六、灵敏度测试

灵敏度测试是评价气敏元件对特定气体的响应程度的重要指标。通过测量气敏元件在不同气体浓度下的电参数变化，可以确定其灵敏度。

七、选择性测试

选择性测试是评价气敏元件对不同气体的响应差异的重要指标。通过测量气敏元件在不同气体中的电参数变化，可以确定其选择性。

八、稳定性测试

稳定性测试是评价气敏元件在长时间使用过程中性能变化的重要指标。通过测量气敏元件在长时间暴露于特定气体后的电参数变化，可以确定其稳定性。

九、响应时间和恢复时间测试

响应时间和恢复时间测试是评价气敏元件响应速度和恢复能力的重要指标。通过测量气敏元件在气体浓度变化时电参数变化的时间，可以确定其响应时间和恢复时间。

十、测试步骤

标准详细规定了测试步骤，包括样品准备、测试条件设置、数据采集、结果计算等。测试人员应严格按照测试步骤进行操作，以确保测试结果的准确性和可重复性。

十一、结果评定

标准对测试结果的评定方法进行了规定。测试结果应满足规定的性能指标要求，如灵敏度、选择性、稳定性、响应时间、恢复时间等。对于不合格的气敏元件，应进行分析和改进。