GB/T 37053-2018《氮化镓外延片及衬底片通用规范》

GB/T 37053-2018《氮化镓外延片及衬底片通用规范》基本信息

标准号：GB/T 37053-2018

中文名称：《氮化镓外延片及衬底片通用规范》

发布日期：2018-12-28    

实施日期：2019-07-09

发布部门：国家市场监督管理总局   国家标准化管理委员会    

提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)    

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)    

起草单位：东莞市中镓半导体科技有限公司、合肥彩虹蓝光科技有限公司、苏州纳维科技有限公司、南京大学电子科学与工程学院、中国电子技术标准化研究院

起草人：丁晓民、刘南柳、潘尧波、徐科、修向前、孙永健、王香、张国义    

中国标准分类号：H83化合物半导体材料

国际标准分类号：29.045半导体材料

GB/T 37053-2018《氮化镓外延片及衬底片通用规范》介绍

国家市场监督管理总局和国家标准化管理委员会联合发布了GB/T 37053-2018《氮化镓外延片及衬底片通用规范》，该标准于2018年12月28日发布，并自2019年7月9日起正式实施。

一、标准规定内容

1、范围

该标准明确了其适用范围，即氮化镓外延片和衬底片的生产、检验和交付。它涵盖了氮化镓材料的基本要求、分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存等方面的规定。

2、分类

标准对氮化镓外延片和衬底片进行了分类，包括但不限于材料类型、尺寸、晶向等。这有助于用户根据具体应用需求选择合适的产品。

3、技术要求

技术要求部分详细规定了氮化镓外延片和衬底片的物理特性、化学特性和电学特性。这些特性包括晶体质量、表面平整度、厚度均匀性、电阻率等关键参数。

4、试验方法

标准提供了一套完整的试验方法，用于评估氮化镓外延片和衬底片的各项性能指标。这些方法包括晶体质量的评估、表面平整度的测量、厚度和均匀性的测定等。

5、检验规则

检验规则部分规定了产品检验的流程和标准，确保产品在交付前满足规定的质量要求。

6、标志、包装、运输和储存

标准还对产品的标识、包装、运输和储存提出了具体要求，以保护产品在流通过程中的安全和完整性。

二、标准的意义

GB/T 37053-2018的发布和实施对于氮化镓材料的生产和应用具有重要意义。它不仅为生产商提供了明确的质量控制标准，还为用户在选择和使用氮化镓材料时提供了参考依据。该标准的实施有助于提高氮化镓材料的整体质量和可靠性，推动相关技术的发展和应用。