SJ 20714-1998《砷化镓抛光片亚损伤层的X射线双晶衍射试验方法》

SJ 20714-1998《砷化镓抛光片亚损伤层的X射线双晶衍射试验方法》基本信息

标准号：SJ 20714-1998

中文名称：《砷化镓抛光片亚损伤层的X射线双晶衍射试验方法》

发布日期：1998-03-18    

实施日期：1998-05-01

发布部门：中华人民共和国电子工业部    

归口单位：中国电子技术标准化研究所    

起草单位：电子工业部第四十六研究所

起草人：张世敏、郝建民、段曙光    

中国标准分类号：L5971

SJ 20714-1998《砷化镓抛光片亚损伤层的X射线双晶衍射试验方法》介绍

《砷化镓抛光片亚损伤层的X射线双晶衍射试验方法》标准，简称SJ 20714-1998，由中华人民共和国电子工业部发布，发布日期为1998年3月18日，实施日期为1998年5月1日。

一、适用范围

SJ 20714-1998标准适用于砷化镓单晶抛光片亚损伤层的检测。砷化镓作为一种重要的半导体材料，广泛应用于电子、光电子、微波等高科技领域。砷化镓抛光片的亚损伤层对材料的性能有着重要影响。

二、检测原理

SJ 20714-1998标准采用X射线双晶衍射法对砷化镓抛光片的亚损伤层进行检测。X射线双晶衍射法是一种非破坏性的检测方法，通过测量X射线在晶体中的衍射情况，可以确定晶体的晶格参数和晶体缺陷等信息。利用该方法可以准确地测量砷化镓抛光片的亚损伤层。

三、仪器设备

SJ 20714-1998标准规定了进行X射线双晶衍射试验所需的仪器设备，包括X射线发生器、X射线探测器、样品台、计算机等。这些设备需要具备一定的精度和稳定性，以保证试验结果的准确性。

四、样品制备

在进行X射线双晶衍射试验前，需要对砷化镓抛光片样品进行适当的制备。SJ 20714-1998标准规定了样品的尺寸、表面处理、清洁等要求，以保证样品的质量和试验的准确性。

五、试验步骤

SJ 20714-1998标准详细规定了X射线双晶衍射试验的步骤，包括样品的装载、X射线的照射、衍射数据的采集、数据处理等。这些步骤需要严格按照标准的要求进行，以保证试验结果的准确性和可重复性。

六、数据处理

在X射线双晶衍射试验中，需要对采集到的衍射数据进行处理，以得到砷化镓抛光片亚损伤层的相关参数。SJ 20714-1998标准规定了数据处理的方法和步骤，包括衍射峰的识别、衍射峰强度的测量、晶格参数的计算等。

七、结果评价

根据SJ 20714-1998标准，试验结果需要进行评价，以判断砷化镓抛光片亚损伤层的质量。评价标准包括亚损伤层的厚度、晶格缺陷的密度等。通过对比试验结果和评价标准，可以对砷化镓抛光片的质量进行判断。