GB/T 12963-1996《硅多晶》

GB/T 12963-1996《硅多晶》基本信息

标准号：GB/T 12963-1996

中文名称：《硅多晶》

发布日期：1996-01-01    

实施日期：1997-04-01

发布部门：国家技术监督局    

提出单位：中国有色金属工业总公司    

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会    

起草单位：峨嵋半导体材料厂

起草人：王鸿高、尹建华、刘文魁、吴福立    

中国标准分类号：H82元素半导体材料

国际标准分类号：29.045半导体材料

GB/T 12963-1996《硅多晶》介绍

国家技术监督局于1996年1月1日发布了《硅多晶》国家标准，即GB/T 12963-1996。该标准自1997年4月1日起正式实施。

一、标准概述

GB/T 12963-1996《硅多晶》标准旨在规定硅多晶的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存等方面的要求。这一标准对于确保硅多晶材料的质量和可靠性至关重要，对于促进我国半导体产业的发展具有重要意义。

二、技术要求

1、化学成分

标准详细规定了硅多晶的化学成分要求，包括硅的纯度、杂质含量等。这些要求确保了硅多晶材料的电学性能和稳定性，对于制造高性能半导体器件至关重要。

2、物理性能

硅多晶的物理性能，如电阻率、晶向、晶体缺陷等，也在标准中得到了明确规定。这些性能指标直接影响到硅多晶在电子器件中的应用效果。

3、外观质量

标准还对硅多晶的外观质量提出了要求，包括表面清洁度、尺寸公差等，以确保材料的加工和使用过程中的可靠性。

三、试验方法

1、化学分析

化学分析方法用于测定硅多晶中的硅含量和杂质含量，确保材料的纯度和质量。

2、物理性能测试

包括电阻率测试、晶体缺陷分析等，以评估硅多晶的电学性能和晶体质量。

3、外观检查

外观检查方法用于评估硅多晶的尺寸公差和表面状况，确保材料的外观质量符合要求。

四、检验规则

标准规定了硅多晶的检验规则，包括抽样、检验项目、检验频次和合格判定标准。这些规则确保了硅多晶材料在生产过程中的质量控制。

五、标志、包装、运输和储存

1、标志

硅多晶产品必须有清晰的标识，包括产品名称、规格、生产批号等信息。

2、包装

包装要求旨在保护硅多晶在运输过程中不受物理损伤和污染。

3、运输

运输过程中应采取适当措施，避免硅多晶的损坏。

4、储存

储存条件应符合硅多晶材料的特性，以保持其性能稳定。

GB/T 12963-1996《硅多晶》标准的制定和实施，为我国硅多晶材料的生产和应用提供了科学、规范的技术依据，对于提升我国半导体材料的国际竞争力具有重要作用。