《砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法》标准号是多少

“砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法”的标准号是：GB/T 11068-2006

GB/T 11068-2006《砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法》由中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会于2006-07-18发布，并于2006-11-01实施。

该标准的起草单位为北京有色金属研究总院；起草人是王彤涵。

“砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法”介绍

砷化镓外延层载流子浓度是评估砷化镓半导体器件性能的一个关键参数，它直接影响器件的电子迁移率和电导性。电容-电压测量方法是一种非破坏性的技术，用于确定砷化镓外延层中的载流子浓度和分布。该方法通过在砷化镓样品上形成一个金属-半导体结构，并对其进行偏压，以测量其电容随电压变化的特性曲线。

在进行电容-电压测量时，先在砷化镓表面沉积一层薄金属电极形成肖特基接触，该接触会形成一个势垒，其高度可以通过外部电压来调控。随着施加电压的改变，肖特基势垒宽度和高度发生变化，进而影响界面处电荷的积累或耗尽，表现为电容的变化。通过分析这种电容对电压变化的依赖性，就能够获得关于载流子浓度及其在外延层内分布的信息。

为了准确地得到载流子浓度，需要对所测得的电容-电压特性曲线进行适当的模型拟合，考虑到诸如界面态密度、串联电阻以及可能的缺陷影响等因素。通过对这些数据进行细致的分析，可以揭示出砷化镓材料中载流子的行为模式，这对于设计和制造高性能的砷化镓基电子设备具有重要的指导意义。