GB/T 41751-2022《氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径测试方法》

GB/T 41751-2022《氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径测试方法》基本信息

标准号：GB/T 41751-2022

中文名称：《氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径测试方法》

发布日期：2022-10-12    

实施日期：2023-02-01

发布部门：国家市场监督管理总局  国家标准化管理委员会    

提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)    

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)    

起草单位：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司、中国电子科技集团公司第四十六研究所、哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司、厦门柯誉尔科技有限公司、山西华晶恒基新材料有限公司、福建兆元光电有限公司

起草人：邱永鑫、徐科、王建峰、任国强、李腾坤、左洪波、郑树楠、刘立娜、杨鑫宏、邝光宁、丁崇灯、陈友勇    

中国标准分类号：H21金属物理性能试验方法

国际标准分类号：77.040金属材料试验

GB/T 41751-2022《氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径测试方法》介绍

国家市场监督管理总局和国家标准化管理委员会联合发布了GB/T 41751-2022《氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径测试方法》（以下简称“本标准”），本标准于2022年10月12日发布，将于2023年2月1日正式实施。

一、标准概述

它规定了氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径的测试方法，包括测试原理、测试设备、测试步骤、结果计算和报告等关键内容。这一标准的实施将有助于提高氮化镓单晶衬底片的质量，确保其在半导体器件中的可靠性和性能。

二、测试原理

本标准详细阐述了晶面曲率半径的测试原理，即通过测量氮化镓单晶衬底片的晶面曲率来确定其半径。这一原理基于光学测量技术，通过分析晶面的反射或透射特性来实现对曲率半径的精确测量。

三、测试设备

在测试设备方面，本标准规定了所需的主要设备，包括但不限于高精度测量仪器、光源、探测器等。这些设备必须满足一定的精度和稳定性要求，以确保测试结果的准确性和可靠性。

四、测试步骤

测试步骤是本标准的核心内容之一，它详细描述了从样品准备到数据采集的全过程。具体步骤包括样品的清洁、定位、测量参数的设置、数据采集和初步处理等。每一步都有明确的操作指导和注意事项，以确保测试过程的标准化和重复性。

五、结果计算

在结果计算部分，本标准提供了晶面曲率半径的计算公式和方法。这些方法基于几何光学和物理光学的原理，能够从测量数据中准确计算出晶面曲率半径。

六、报告和记录

本标准还规定了测试结果的报告和记录要求。测试报告应包含所有必要的测试参数、计算结果和以及可能的误差分析。所有的测试数据和过程记录都应妥善保存，以便于后续的审核和追溯。

GB/T 41751-2022《氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径测试方法》的发布和实施，对于提升氮化镓单晶衬底片的生产质量和市场竞争力具有重要意义。它不仅为相关企业和研究机构提供了统一的测试标准，也为氮化镓材料的进一步研究和应用奠定了坚实的基础。