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GB/T 14602-2014《电子工业用气体 氯化氢》

GB/T 14602-2014更新时间: 2025-03-26
标准详情

GB/T 14602-2014《电子工业用气体 氯化氢》基本信息

标准号:GB/T 14602-2014

中文名称:《电子工业用气体 氯化氢》

发布日期:2014-12-22    

实施日期:2015-07-01

发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局  中国国家标准化管理委员会    

提出单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)    

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)    

起草单位:北京华宇同方化工科技开发有限公司、西南化工研究设计院有限公司、佛山市华特气体有限公司、光明化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海仪盟科技有限公司

起草人:张吉瑞、孙福楠、杜汉盛、方华、周鹏云、杨任    

中国标准分类号:G86工业气体与化学气体

国际标准分类号:71.100.20工业气体

GB/T 14602-2014《电子工业用气体 氯化氢》介绍

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局和中国国家标准化管理委员会联合发布了GB/T 14602-2014《电子工业用气体 氯化氢》标准。该标准自2015年7月1日起正式实施。

一、技术要求

1、纯度

标准对氯化氢气体的纯度提出了明确的要求,规定了不同等级的氯化氢气体的最低纯度标准。这有助于确保气体在电子工业中的使用效果,满足不同工艺的需求。

2、杂质含量

除了纯度要求外,标准还对氯化氢气体中的杂质含量进行了限制,包括但不限于水分、氧气、颗粒物等。这些杂质的存在可能会影响电子器件的性能,甚至导致器件失效。

3、物理特性

标准还规定了氯化氢气体的物理特性,如密度、沸点等,以确保气体在储存和使用过程中的稳定性。

二、试验方法

1、纯度测定

标准详细描述了测定氯化氢气体纯度的方法,包括气相色谱法、红外光谱法等,确保测定结果的准确性。

2、杂质含量测定

对于氯化氢气体中的杂质含量,标准提供了多种测定方法,如化学分析法、质谱法等,以便于对气体的质量进行全面评估。

3、物理特性测试

标准还规定了氯化氢气体物理特性的测试方法,如密度测量、沸点测定等,以确保气体的物理稳定性。

三、检验规则

标准对氯化氢气体的检验规则进行了规定,包括出厂检验、型式检验和周期检验等,以确保气体质量的持续稳定。

四、包装、标志、运输和贮存

1、包装

标准对氯化氢气体的包装材料、包装方式和包装规格提出了要求,以确保气体在运输和使用过程中的安全。

2、标志

为了便于识别和追踪,标准规定了氯化氢气体包装上必须标注的信息,包括产品名称、纯度等级、生产日期、批号等。

3、运输

标准对氯化氢气体的运输条件提出了要求,包括运输工具的选择、运输过程中的温湿度控制等,以保证气体在运输过程中的稳定性。

4、贮存

标准还规定了氯化氢气体的贮存条件,包括贮存环境的温度、湿度要求,以及贮存期限等,以确保气体在贮存期间的质量。

GB/T 14602-2014《电子工业用气体 氯化氢》标准的发布和实施,为电子工业用氯化氢气体的生产和使用提供了科学、合理的指导。通过执行该标准,可以提高电子工业用气体的质量和安全性,促进电子工业的健康发展。

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