GB/T 10067.410-2014《电热装置基本技术条件 第410部分：单晶炉》

GB/T 10067.410-2014《电热装置基本技术条件 第410部分：单晶炉》基本信息

标准号：GB/T 10067.410-2014

中文名称：《电热装置基本技术条件 第410部分：单晶炉》

发布日期：2014-12-05    

实施日期：2015-04-16

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局  中国国家标准化管理委员会    

提出单位：中国电器工业协会    

归口单位：全国工业电热设备标准化技术委员会(SAC/TC121)    

起草单位：西安电炉研究所有限公司、江苏华盛天龙光电设备股份有限公司、西安理工晶科股份有限公司、中冶电炉工程技术中心、国家电炉质量监督检验中心、陕西省电炉工程技术研究中心

起草人：陈巨才、李留臣、袁芳兰、束天和、朱琳    

中国标准分类号：61

国际标准分类号：25.180.10电炉

GB/T 10067.410-2014《电热装置基本技术条件 第410部分：单晶炉》介绍

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局和中国国家标准化管理委员会于2014年12月5日发布了GB/T 10067.410-2014《电热装置基本技术条件 第410部分：单晶炉》标准（以下简称“本标准”），并于2015年4月16日起正式实施。

一、标准适用范围

本标准规定了单晶炉的一般要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等方面的技术条件。适用于硅、锗等半导体材料的单晶生长用的单晶炉。

二、一般要求

1、设计要求

单晶炉的设计应满足安全、可靠、经济、环保等要求，同时应考虑操作方便、维修容易等因素。

2、材料要求

单晶炉所选用的材料应符合国家有关标准的规定，且应具有良好的耐腐蚀性、耐高温性等性能。

3、制造要求

单晶炉的制造应严格按照设计文件和工艺文件进行，确保产品质量。

三、技术要求

1、结构要求

单晶炉应具有合理的结构设计，以保证其稳定性和可靠性。应考虑热场的均匀性，以提高单晶生长的质量。

2、性能要求

单晶炉应具备良好的温度控制性能、真空度控制性能和晶体生长速度控制性能等，以满足不同材料和工艺的要求。

3、安全要求

单晶炉应具备必要的安全防护措施，如过热保护、过载保护、紧急停机等，以确保操作人员和设备的安全。

四、试验方法

本标准规定了单晶炉的试验方法，包括温度控制性能试验、真空度控制性能试验、晶体生长速度控制性能试验等。这些试验方法有助于检验单晶炉的性能是否符合技术要求。

五、检验规则

单晶炉在出厂前应按照本标准的规定进行检验，包括外观检查、尺寸检查、性能试验等。检验合格的产品方可出厂销售。

六、标志、包装、运输和贮存

1、标志

单晶炉应在明显位置标注产品名称、型号、制造厂名或商标、出厂日期等信息。

2、包装

单晶炉的包装应符合运输和贮存的要求，以防止在运输过程中损坏。

3、运输

单晶炉在运输过程中应采取必要的防护措施，以防止损坏。

4、贮存

单晶炉在贮存过程中应避免高温、潮湿、腐蚀等不良环境，以保证其性能和使用寿命。

GB/T 10067.410-2014《电热装置基本技术条件 第410部分：单晶炉》标准的发布和实施，对于规范单晶炉的设计、制造和检验，提高产品质量和可靠性具有重要意义。各相关企业和从业人员应严格按照本标准的要求，进行单晶炉的设计、制造和检验，以确保半导体材料制备工艺的稳定和可靠。