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GB/T 14604-2009《电子工业用气体 氧》

GB/T 14604-2009更新时间: 2025-04-05
标准详情

GB/T 14604-2009《电子工业用气体 氧》基本信息

标准号:GB/T 14604-2009

中文名称:《电子工业用气体 氧》

发布日期:2009-10-30    

实施日期:2010-05-01

发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局  中国国家标准化管理委员会    

提出单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会    

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会    

起草单位:中国计量科学研究院、西南化工研究设计院

起草人:周泽义、周鹏云    

中国标准分类号:G86工业气体与化学气体

国际标准分类号:71.100.20工业气体

GB/T 14604-2009《电子工业用气体 氧》介绍

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局和中国国家标准化管理委员会联合发布了《电子工业用气体 氧》国家标准,即GB/T 14604-2009。该标准于2009年10月30日发布,并于2010年5月1日起正式实施。

一、标准概述

GB/T 14604-2009《电子工业用气体 氧》是一项关于电子工业用氧气的国家标准,旨在规范电子工业用氧气的质量和使用,确保电子工业生产过程中的气体供应安全、稳定和可靠。

二、标准适用范围

GB/T 14604-2009《电子工业用气体 氧》主要适用于电子工业中使用的氧气,包括但不限于半导体制造、电子器件制造、集成电路制造等领域。该标准也适用于其他需要使用高纯度氧气的工业领域。

三、标准主要内容

1、氧的质量要求:标准规定了电子工业用氧气的纯度、水分含量、颗粒物含量等质量指标,确保氧气的纯度和清洁度满足电子工业的需求。

2、包装和标志:标准对氧气的包装方式、容器材质、标志内容等进行了规定,以便于氧气的储存、运输和使用。

3、试验方法:标准详细规定了氧气质量的检测方法,包括纯度测定、水分含量测定、颗粒物含量测定等,为氧气质量的检测提供了科学依据。

4、检验规则:标准对氧气的检验规则进行了规定,包括出厂检验、型式检验等,确保氧气产品的质量符合标准要求。

5、标志、包装、运输和储存:标准对氧气的标志、包装、运输和储存等环节提出了具体要求,以保证氧气在储存和运输过程中的安全和稳定。

四、标准的意义

GB/T 14604-2009《电子工业用气体 氧》的发布和实施,对于提高电子工业用氧气的质量和安全性具有重要意义。为电子工业用氧气的生产和使用提供了统一的技术规范,有助于提高氧气产品的质量和稳定性。有助于规范市场秩序,保护消费者权益。对于推动电子工业的绿色发展和可持续发展具有积极的促进作用。

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