




GB/T 26074-2010《锗单晶电阻率直流四探针测量方法》基本信息
标准号:GB/T 26074-2010
中文名称:《锗单晶电阻率直流四探针测量方法》
发布日期:2011-01-10
实施日期:2011-10-01
发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
起草单位:南京中锗科技股份有限公司、北京国晶辉红外光学科技有限公司、云南临沧鑫圆锗业股份有限公司
起草人:张莉萍、焦欣文、王学武、普世坤
中国标准分类号:H17半金属及半导体材料分析方法
国际标准分类号:77.040.99金属材料的其他试验方法
GB/T 26074-2010《锗单晶电阻率直流四探针测量方法》介绍
《GB/T 26074-2010《锗单晶电阻率直流四探针测量方法》》标准于2011年1月10日发布,并于2011年10月1日正式实施。
一、测量原理
该标准基于直流四探针法的原理,通过测量锗单晶在直流电流作用下的电压降来确定其电阻率。四探针法是一种非接触式的测量技术,可以减少接触电阻对测量结果的影响,从而获得更准确的电阻率值。
二、测量设备和材料
标准详细描述了测量所需的设备和材料,包括四探针测量装置、标准电阻、测量线和锗单晶样品。四探针装置应具备稳定的直流电源和精确的电压测量功能,以确保测量结果的准确性。
三、测量步骤
1、样品准备:确保锗单晶样品表面清洁、平整,无明显的损伤或污染。
2、设备校准:在测量前对四探针装置进行校准,确保电压和电流测量的准确性。
3、测量过程:将四探针装置放置在锗单晶样品上,施加直流电流,并测量相应的电压降。
4、数据处理:根据测量得到的电压和电流值,结合样品的几何尺寸,计算锗单晶的电阻率。
四、结果分析
标准提供了对测量结果进行分析的方法,包括对测量误差的评估和结果的重复性检验。通过对比不同测量条件下得到的数据,可以评估测量方法的可靠性和准确性。
五、标准的应用
《GB/T 26074-2010》标准的实施,对于提高锗单晶材料的质量控制水平、指导生产实践以及促进科研工作具有重要意义。为锗单晶电阻率的测量提供了统一的技术规范,有助于不同实验室和生产单位之间的数据比较和交流。
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