GB/T 16523-1996《圆形石英玻璃光掩模基板规范》

GB/T 16523-1996《圆形石英玻璃光掩模基板规范》基本信息

标准号：GB/T 16523-1996

中文名称：《圆形石英玻璃光掩模基板规范》

发布日期：1996-09-09    

实施日期：1997-05-01

发布部门：国家技术监督局    

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会    

起草单位：长沙韶光微电子总公司

中国标准分类号：L90电子技术专用材料

国际标准分类号：31.200集成电路、微电子学

GB/T 16523-1996《圆形石英玻璃光掩模基板规范》介绍

国家技术监督局于1996年发布了GB/T 16523-1996《圆形石英玻璃光掩模基板规范》，并于1997年5月1日起正式实施。

一、本标准适用范围

本标准主要适用于直径为100mm、150mm、200mm的圆形石英玻璃光掩模基板，这些基板主要用于半导体集成电路的光刻工艺。通过规定基板的尺寸、形状、表面质量、光学性能等要求，确保光掩模基板在使用过程中的可靠性和稳定性。

二、基本要求

1、尺寸和形状

本标准对圆形石英玻璃光掩模基板的直径、厚度、中心孔径等尺寸进行了明确规定。例如，基板的直径公差、厚度公差以及中心孔径公差等，以确保基板的机械加工精度和安装稳定性。

2、表面质量

表面质量是影响光掩模基板光学性能的重要因素。本标准对基板的表面光洁度、平整度、杂质含量等提出了具体要求，以减少光掩模在使用过程中的光学畸变和缺陷。

3、光学性能

光学性能是衡量光掩模基板质量的关键指标。本标准对基板的折射率、透光率、热膨胀系数等光学参数进行了规定，以满足半导体芯片制造过程中对光掩模光学性能的需求。

4、化学性能

化学性能是光掩模基板在制造和使用过程中的稳定性保证。本标准对基板的化学成分、耐化学腐蚀性等进行了规定，以确保基板在各种环境下的可靠性。

三、检验规则

为确保光掩模基板的质量，本标准规定了严格的检验规则。包括生产过程中的自检、出厂检验以及型式检验等，以确保每一块基板都能满足标准要求。

1、自检

生产过程中，企业应对每一块基板进行自检，确保基板的尺寸、形状、表面质量等符合标准要求。

2、出厂检验

基板出厂前，企业应进行严格的出厂检验，包括尺寸、形状、光学性能等方面的检测，确保基板的质量。

3、型式检验

对于新产品或新工艺生产的基板，企业应进行型式检验，以验证基板的性能是否符合标准要求。

四、包装、标志、运输和储存

本标准还对光掩模基板的包装、标志、运输和储存提出了具体要求，以确保基板在运输和储存过程中的完好性和安全性。

1、包装

基板应采用适当的包装材料进行包装，以防止在运输过程中受到损坏。

2、标志

基板的包装上应有明显的标志，包括产品名称、规格、生产日期等信息，以便于识别和追溯。

3、运输

基板在运输过程中应避免剧烈震动和碰撞，以防止基板损坏。

4、储存

基板应储存在干燥、通风、无腐蚀性气体的环境中，以保持基板的性能稳定。

GB/T 16523-1996《圆形石英玻璃光掩模基板规范》的发布和实施，为我国半导体集成电路制造业的发展提供了有力的技术支持。通过规范光掩模基板的生产和使用，提高了半导体芯片的制造质量，促进了我国半导体产业的健康发展。