《硅材料中氧含量的测试 惰性气体熔融红外法》执行标准号是什么

“硅材料中氧含量的测试 惰性气体熔融红外法”的标准号是：GB/T 38976-2020

GB/T 38976-2020《硅材料中氧含量的测试 惰性气体熔融红外法》由国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会于2020-07-21发布，并于2021-06-01实施。

该标准的起草单位为有研半导体材料有限公司、上海合晶硅材料有限公司、有色金属技术经济研究院、北京聚睿众邦科技有限公司、厦门银固美能源科技有限公司；起草人是王永涛、孙燕、徐新华、胡金枝、任丹雅、赵志婷、蔡丽艳、杨素心、陆敏、林兴乐。

“硅材料中氧含量的测试 惰性气体熔融红外法”介绍

硅材料中氧含量的测试是半导体制造领域一个至关重要的环节，因为氧气浓度对硅片性能产生显著影响。惰性气体熔融红外法是一种常用的测量技术，此方法利用的是红外线吸收特性与氧气含量之间的关系。在这项技术的执行过程中，样品首先被置于高温下与惰性气体（如氩）混合，确保了其他元素不会干扰测量结果。随着温度的升高，硅材料开始熔化，而其中的氧则以离子或原子形式释放出来。

随后释放的氧气通过惰性气体流动带出，并进入一个红外分析室。在这里，气体混合物会穿过红外线束。由于氧气对特定波长的红外线具有强吸收作用，通过测量吸收强度的变化，就可以准确地计算出氧的含量。这种方法的优势在于其高精度和可靠性，能够提供对硅材料中微量氧的快速检测，从而为硅片的质量控制提供了有力的技术支持。