YS/T 1059-2015《硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法》

YS/T 1059-2015《硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法》基本信息

标准号：YS/T 1059-2015

中文名称：《硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法》

发布日期：2015-04-30    

实施日期：2015-10-01

发布部门：中华人民共和国工业和信息化部    

提出单位：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)    

归口单位：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)    

起草单位：中锗科技有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、新特能源股份有限公司

起草人：刘英杰、郑华荣、柯尊斌、刘新军、赵建为、王桃霞、张京、张云晖、杨红燕、陈喜清、杨帅    

中国标准分类号：H17半金属及半导体材料分析方法

国际标准分类号：77.040.30金属材料化学分析

YS/T 1059-2015《硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法》介绍

YS/T 1059-2015标准全称为《硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法》，该标准由中华人民共和国工业和信息化部发布，并于2015年4月30日正式发布，实施日期为2015年10月1日。

一、标准发布背景

硅外延技术作为半导体制造领域的核心工艺之一，对材料的纯度要求极高。三氯氢硅作为硅外延过程中的重要原料，其纯度直接影响到硅外延层的质量和性能。因此，准确测定三氯氢硅中总碳含量，对于保证硅外延工艺的顺利进行和产品质量具有重要意义。

二、标准主要内容

YS/T 1059-2015标准主要包括以下几个方面的内容：

1、适用范围

该标准适用于硅外延用三氯氢硅中总碳含量的测定，包括但不限于单质硅、硅合金、硅化合物等。

2、方法原理

标准采用了气相色谱法进行总碳的测定。通过将三氯氢硅样品与氧气混合，进行高温反应，生成二氧化碳，然后通过气相色谱仪进行分离和检测，从而实现对总碳含量的定量分析。

3、试剂和材料

标准规定了进行测定所需的试剂和材料，包括高纯度三氯氢硅、氧气、气相色谱仪等。

4、仪器设备

标准对仪器设备的要求进行了详细规定，包括气相色谱仪、高温炉、样品瓶等。

5、分析步骤

标准详细描述了从样品的准备、反应、气相色谱分析到结果计算的整个操作流程。

6、结果计算

标准提供了总碳含量的计算方法，包括对色谱图的识别、峰面积的测量以及最终结果的计算。

7、精密度和准确度

标准对测定结果的精密度和准确度提出了要求，确保测定结果的可靠性。

三、标准的应用价值

YS/T 1059-2015标准的制定和实施，对于硅外延工艺的原材料质量控制具有重要意义。通过准确测定三氯氢硅中的总碳含量，可以有效地保证硅外延层的质量和性能，从而提高半导体器件的性能和可靠性。该标准还为相关企业和科研机构提供了一种标准化的测定方法，有助于推动硅外延技术的发展和创新。