DB53/T 618-2014《气相色谱法测定多晶硅生产中氢化尾气 组分含量》

DB53/T 618-2014《气相色谱法测定多晶硅生产中氢化尾气 组分含量》基本信息

标准号：DB53/T 618-2014

中文名称：《气相色谱法测定多晶硅生产中氢化尾气 组分含量》

发布日期：2014-08-28    

实施日期：2014-12-01

发布部门：云南省质量技术监督局    

DB53/T 618-2014《气相色谱法测定多晶硅生产中氢化尾气 组分含量》介绍

DB53/T 618-2014是由云南省质量技术监督局发布的，专门针对多晶硅生产中氢化尾气组分含量测定的标准。该标准于2014年8月28日发布，并自2014年12月1日起正式实施。

一、标准规定内容

1、适用范围

本标准适用于多晶硅生产过程中氢化尾气的组分含量测定，包括但不限于氢气、甲烷、硅烷、二氯硅烷等组分。

2、术语和定义

标准中明确了相关术语的定义，如“氢化尾气”指的是多晶硅生产过程中产生的含有氢的气体，“组分含量”则指这些氢化尾气中各组分的摩尔比。

3、仪器设备

标准规定了进行测定所需的仪器设备，包括气相色谱仪、进样器、色谱柱等，并对其性能和参数提出了具体要求。

4、样品的采集与保存

详细描述了样品采集的方法、步骤以及样品的保存条件，以确保样品的代表性和稳定性。

5、分析步骤

本部分详细阐述了氢化尾气组分含量的测定流程，包括样品的前处理、色谱条件的选择、测定方法、数据记录与处理等。

6、结果计算

规定了如何根据色谱图谱计算各组分的含量，并提供了计算公式和示例。

7、质量控制

标准提出了质量控制措施，包括对仪器设备进行定期校准、对操作人员进行培训、对测定结果进行复核等。

二、标准的重要性

1、环境保护

多晶硅生产过程中产生的氢化尾气若处理不当，会对环境造成污染。本标准的实施有助于减少环境污染，促进绿色生产。

2、产品质量控制

精确的组分含量测定对于保证多晶硅产品的质量和性能至关重要。本标准提供了一种科学的测定方法，有助于提高产品质量。

3、行业标准化

本标准的实施有助于统一行业内的测定方法，减少因测定方法不同而导致的数据差异，促进行业的标准化和规范化。

DB53/T 618-2014《气相色谱法测定多晶硅生产中氢化尾气组分含量》标准的发布和实施，对于多晶硅生产行业具有重要的指导意义。