SJ/T 11500-2015《碳化硅单晶晶向的测试方法》

SJ/T 11500-2015《碳化硅单晶晶向的测试方法》基本信息

标准号：SJ/T 11500-2015

中文名称：《碳化硅单晶晶向的测试方法》

发布日期：2015-04-30    

实施日期：2015-10-01

发布部门：中华人民共和国工业和信息化部    

SJ/T 11500-2015《碳化硅单晶晶向的测试方法》介绍

《碳化硅单晶晶向的测试方法》（SJ/T 11500-2015）是中国工业和信息化部于2015年4月30日发布的一项行业标准，自2015年10月1日起正式实施。

一、标准适用范围

SJ/T 11500-2015标准适用于所有类型的碳化硅单晶材料，包括电子级、光学级和机械级等。标准涵盖了碳化硅单晶的晶向测试方法、测试条件、测试设备、测试步骤和测试结果的评定等方面的内容。

二、标准主要内容

1、术语和定义

标准明确了碳化硅单晶、晶向、晶向角等术语的定义，为后续测试方法的制定提供了基础。

2、测试原理

标准规定了碳化硅单晶晶向测试的原理，即通过测量碳化硅单晶的X射线衍射图谱，确定其晶向角和晶向误差。

3、测试条件

标准对测试环境、样品制备、测试设备等测试条件进行了规定，以保证测试结果的准确性和可重复性。

4、测试设备

标准规定了进行碳化硅单晶晶向测试所需的设备，包括X射线衍射仪、样品旋转台、测量仪器等，并对其性能和精度提出了要求。

5、测试步骤

标准详细描述了碳化硅单晶晶向测试的步骤，包括样品的准备、测试设备的设置、数据的采集和处理等，为测试人员提供了明确的操作指导。

6、测试结果的评定

标准对测试结果的评定方法进行了规定，包括晶向角的计算、晶向误差的评估等，为测试结果的准确性和可靠性提供了保障。

三、标准的意义和影响

SJ/T 11500-2015标准的制定和实施，对于提高我国碳化硅单晶材料的质量和性能，推动碳化硅单晶材料在电子、光学、机械等领域的应用具有重要意义。标准为碳化硅单晶材料的晶向测试提供了科学、规范的方法，有助于提高测试结果的准确性和可靠性，为碳化硅单晶材料的研发、生产和应用提供了有力的技术支撑。