YS/T 983-2014《多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法》

YS/T 983-2014《多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法》基本信息

标准号：YS/T 983-2014

中文名称：《多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法》

发布日期：2014-10-14    

实施日期：2015-04-01

发布部门：中华人民共和国工业和信息化部    

归口单位：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)    

起草单位：四川新光硅业科技有限责任公司等

起草人：敖细平、王波、梁洪、刘畅、张华端、古行乾、王阿丽    

中国标准分类号：17

国际标准分类号：77.040金属材料试验

YS/T 983-2014《多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法》介绍

YS/T 983-2014《多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法》是由中华人民共和国工业和信息化部制定并发布的国家标准，旨在规范多晶硅生产过程中尾气成分的测定方法，提高尾气处理和回收利用的效率。

一、标准制定背景

多晶硅生产过程中产生的尾气主要包括氢气、氯气、氢氯酸、四氯化硅等有害气体，这些气体不仅对环境造成污染，还可能对人体健康产生危害。因此，制定一套科学、准确的尾气成分测定方法，对于尾气的处理和回收利用具有重要意义。

二、标准适用范围

YS/T 983-2014标准适用于多晶硅还原炉和氢化炉生产过程中产生的尾气成分的测定。该标准涵盖了尾气中各种有害气体的测定方法，为多晶硅生产企业提供了统一的测定标准。

三、标准主要内容

1、样品采集：标准规定了尾气样品的采集方法，要求采用专用的采样设备进行采集，确保样品的代表性和准确性。

2、样品处理：对采集到的尾气样品进行适当的处理，如过滤、干燥等，以去除样品中的杂质，提高测定结果的准确性。

3、测定方法：标准提供了多种尾气成分的测定方法，包括气相色谱法、红外光谱法等，企业可以根据实际情况选择合适的方法进行测定。

4、结果计算：对测定结果进行计算和分析，得出尾气中各种有害气体的浓度，为尾气处理和回收提供依据。

5、质量控制：标准还规定了测定过程中的质量控制要求，如仪器校准、操作人员培训等，以确保测定结果的准确性和可靠性。

四、标准实施意义

YS/T 983-2014标准的实施，对于提高多晶硅生产企业尾气处理和回收利用的效率具有重要意义。通过规范尾气成分的测定方法，企业可以更准确地了解尾气中的有害气体成分，采取有效的处理措施，减少环境污染，提高资源利用率。