“电子级水测试方法通则”的标准号是:GB/T 11446.3-2013
GB/T 11446.3-2013《电子级水测试方法通则》由中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会于2013-12-31发布,并于2014-08-15实施。
该标准的起草单位为信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国科学院半导体研究所、中国电子技术标准化研究院、中国电子科技集团公司第四十六研究所;起草人是褚连青、王奕、何秀坤、段曙光、提刘旺、刘筠 。
“电子级水测试方法通则”介绍
电子级水是用于半导体制造、液晶显示器生产及其他高科技行业的重要物质,其质量直接影响到产品的良率和性能。因此,对电子级水的测试方法和标准有着严格要求。在通则方面,电子级水测试方法通常包括几个关键点:测试项目需要全面覆盖水质的各项指标,如电阻率、总有机碳(TOC)、细菌含量等;测试过程中使用的仪器需要具有高准确度和稳定性;采样方式需保证样品在采集、储存和运输过程中不受污染。
为了确保数据的可靠性,电子级水的测试方法还包括了标准化操作程序,这些程序详细说明了从采样到分析的每一步操作,以避免人为误差影响测试结果。同时,对于测试结果的评价也遵循一定的准则,比如在某些关键参数上设置严格的合格标准。通过这些综合的测试方法通则,可以确保电子级水的质量满足高端制造工艺的需求,保障最终产品的品质与性能。
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