GB/T 38976-2020《硅材料中氧含量的测试 惰性气体熔融红外法》

GB/T 38976-2020《硅材料中氧含量的测试 惰性气体熔融红外法》基本信息

标准号：GB/T 38976-2020

中文名称：《硅材料中氧含量的测试 惰性气体熔融红外法》

发布日期：2020-07-21

实施日期：2021-06-01

发布部门：国家市场监督管理总局  国家标准化管理委员会

提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)

起草单位：有研半导体材料有限公司、上海合晶硅材料有限公司、有色金属技术经济研究院、北京聚睿众邦科技有限公司、厦门银固美能源科技有限公司

起草人：王永涛、孙燕、徐新华、胡金枝、任丹雅、赵志婷、蔡丽艳、杨素心、陆敏、林兴乐

中国标准分类号：H17半金属及半导体材料分析方法

国际标准分类号：77.040金属材料试验

GB/T 38976-2020《硅材料中氧含量的测试 惰性气体熔融红外法》介绍

GB/T 38976-2020《硅材料中氧含量的测试 惰性气体熔融红外法》是中国国家标准，由国家市场监督管理总局和国家标准化管理委员会联合发布，该标准于2020年7月21日发布，并自2021年6月1日起正式实施。

一、测试原理

GB/T 38976-2020标准中提到的惰性气体熔融红外法是一种基于红外光谱分析的技术。该方法通过在惰性气体保护下加热硅样品至熔融状态，使得硅中的氧以CO的形式释放出来，然后通过红外光谱仪检测CO的浓度，从而间接测定硅中氧的含量。

二、测试步骤

1、样品准备

测试前需对硅样品进行适当的切割和打磨，以确保样品的均匀性和代表性。

2、熔融过程

将准备好的硅样品放入专用的熔融炉中，在惰性气体（如氩气）的保护下加热至熔融状态。

3、红外光谱分析

熔融后的硅样品会释放出CO气体，通过红外光谱仪分析CO的红外吸收峰，根据吸收峰的强度计算出氧含量。

4、数据处理

根据红外光谱分析结果，结合标准曲线，计算出硅样品中的氧含量。

三、标准要求

GB/T 38976-2020对测试设备、测试环境、样品处理、数据记录和分析等方面都提出了具体要求，以确保测试结果的准确性和可重复性。

四、标准的意义

该标准的实施对于提高硅材料的质量控制水平、促进硅材料产业的技术进步和产品质量提升具有重要作用。它为硅材料的生产、检测和应用提供了统一的技术规范，有助于推动硅材料产业的健康发展。

GB/T 38976-2020《硅材料中氧含量的测试 惰性气体熔融红外法》标准的发布和实施，标志着中国在硅材料检测领域的标准化工作又迈出了坚实的一步。它不仅为硅材料的生产和检测提供了科学依据，也为相关企业和研究机构提供了技术指导，有助于提升整个行业的技术水平和国际竞争力。