GB/T 12963-2022《电子级多晶硅》

GB/T 12963-2022《电子级多晶硅》基本信息

标准号：GB/T 12963-2022

中文名称：《电子级多晶硅》

发布日期：2022-12-30

实施日期：2023-07-01

发布部门：国家市场监督管理总局  国家标准化管理委员会

提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)

起草单位：江苏鑫华半导体科技股份有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、有研半导体硅材料股份公司、麦斯克电子材料股份有限公司、亚洲硅业(青海)股份有限公司等

起草人：田新、蒋文武、赵培芝、万首正、李素青、秦榕、王彬、孙燕、贺东江、陈卫群、宗冰、徐岩、邱艳梅、李斌、刘晓霞、张遵、付绪光、董先君、潘金平、张园园、雷聪

中国标准分类号：H82元素半导体材料

国际标准分类号：29.045半导体材料

GB/T 12963-2022《电子级多晶硅》介绍

国家市场监督管理总局和国家标准化管理委员会联合发布了GB/T 12963-2022《电子级多晶硅》标准。

一、标准概述

GB/T 12963-2022《电子级多晶硅》标准是在现有标准的基础上，结合国内外电子级多晶硅技术的发展和市场需求，对电子级多晶硅的定义、分类、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等方面进行了全面的规定和更新。

二、标准内容详解

1、定义和分类

标准首先对电子级多晶硅进行了定义，明确了其作为半导体材料的基本属性和用途。同时，根据纯度和应用领域，将电子级多晶硅分为不同的类别，以满足不同电子产品的生产需求。

2、技术要求

纯度要求：规定了电子级多晶硅的最低纯度标准，确保材料的纯净度能够满足电子器件的生产要求。

杂质含量：对电子级多晶硅中允许的杂质种类和含量进行了限制，以减少对电子器件性能的负面影响。

晶体结构：对电子级多晶硅的晶体结构进行了规定，以保证材料的物理性能和电子特性。

3、试验方法

纯度测定：详细描述了测定电子级多晶硅纯度的方法和步骤。

杂质分析：提供了分析电子级多晶硅中杂质含量的标准方法。

晶体结构检测：介绍了检测电子级多晶硅晶体结构的试验方法。

4、检验规则

抽样：明确了抽样的数量和方法，以保证样品的代表性。

检验：规定了检验的频次和项目，确保产品质量的稳定性。

判定：对检验结果的判定标准进行了规定，包括合格和不合格的判定条件。

5、标志、包装、运输和贮存

标志：规定了产品包装上必须标注的信息，如生产日期、批号、纯度等级等。

包装：对产品包装的材料、方式和要求进行了规定。

运输：提出了运输过程中的保护措施，以防止产品在运输过程中受损。

贮存：对产品的贮存条件和期限进行了规定，以确保产品在保质期内保持其性能。

三、实施意义

GB/T 12963-2022《电子级多晶硅》标准的发布和实施，对于提高我国电子级多晶硅产品的质量和国际竞争力具有重要意义。它不仅规范了电子级多晶硅的生产和应用，还为相关企业提供了明确的质量控制标准，有助于推动我国半导体材料产业的健康发展。