GB/T 15871-1995硬面光掩模基板执行标准检测项目有哪些

GB/T 15871-1995 是中国国家标准中关于硬面光掩模基板（Direct Imaging -DI）的执行标准。该标准规定了硬面光掩模基板的技术要求、检测方法和标志、包装、运输等方面的内容。本文将介绍GB/T 15871-1995标准中硬面光掩模基板的检测项目。

1. 外观检测：对硬面光掩模基板的外观进行检测，检查是否存在损坏、变形、划痕、污染等缺陷。

2. 尺寸检测：测量硬面光掩模基板的尺寸，包括长、宽、厚度等参数，以确定是否符合标准规定的要求。

3. 表面平整度检测：通过测量硬面光掩模基板表面的平整度，以确定是否在规定范围内。

4. 边缘平直度检测：检测硬面光掩模基板的边缘是否平直，包括边缘的直线度和平行度等方面。

5. 表面电镀层检测：检查硬面光掩模基板的表面电镀层，包括电镀层的厚度、均匀性、附着力等方面。

6. 孔径尺寸检测：测量硬面光掩模基板上的孔的直径、深度等尺寸参数，以确定是否满足标准要求。

7. 起泡检测：检测硬面光掩模基板表面是否有起泡的现象，起泡会影响光掩模的精度和质量。

8. 导线图案检测：检查硬面光掩模基板上导线图案的准确度和一致性。

9. 色差检测：检测硬面光掩模基板上的图案颜色是否一致，以及与标准色差值之间的偏差。

10. 焊盘质量检测：对硬面光掩模基板上的焊盘进行检测，包括焊盘的形状、大小、平整度等方面。

11. 化学成分分析：对硬面光掩模基板的材料成分进行化学分析，确保符合标准的要求。

12. 热阻测试：检测硬面光掩模基板的热阻性能，以确定其散热性能是否符合要求。

13. 热膨胀系数测试：测量硬面光掩模基板的热膨胀系数，以确定其在温度变化时的稳定性。

14. 电气性能测试：对硬面光掩模基板的电气性能进行测试，包括绝缘电阻、阻抗等参数。

15. 光学性能测试：检测硬面光掩模基板的光学性能，包括透光性、反光性等参数。

以上是GB/T 15871-1995标准中硬面光掩模基板的主要检测项目。通过对这些项目的检测，可以确保硬面光掩模基板的质量和性能符合标准的要求，提高其在电子制造领域的应用价值。