《确定晶片坐标系规范》执行标准号

“确定晶片坐标系规范”的标准号是：GB/T 16596-2019

GB/T 16596-2019《确定晶片坐标系规范》由国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会于2019-03-25发布，并于2020-02-01实施。

该标准的起草单位为有色金属技术经济研究院、有研半导体材料有限公司、浙江海纳半导体有限公司、浙江省硅材料质量检验中心、上海合晶硅材料有限公司；起草人是卢立延、孙燕、潘金平、杨素心、楼春兰、胡金枝、李素青。

“确定晶片坐标系规范”介绍

确定晶片坐标系规范是一个关键的步骤，它涉及到在半导体制造过程中精确定义晶片的平面位置和方向。这一规范确保了晶片上不同元件的相对位置能够按照设计进行排列，同时也保障了在不同设备间的处理和测量能够得到一致的结果。

在确立这一规范时，通常需要使用特定的标记或特征点作为参考，例如切割线、定位标记或者晶圆的自然晶向等。这些标记帮助工程师们将设计图纸上的坐标系统与实际物理晶片上的位置对应起来。通过这样的映射，无论是在光刻、蚀刻还是切割阶段，每一步操作都可以精准地控制和执行。

为了维持整个制造过程的统一性和可追溯性，所有涉及晶片加工的设备都需要遵循相同的坐标系规范。这样，无论晶片处于生产线的哪个环节，其位置、取向以及与其他组件的关系都能保持一致，从而确保最终产品的性能符合设计规范，减少制造误差，提升生产效率。