SJ/T 11495-2015《硅中间隙氧的转换因子指南》

SJ/T 11495-2015《硅中间隙氧的转换因子指南》基本信息

标准号：SJ/T 11495-2015

中文名称：《硅中间隙氧的转换因子指南》

发布日期：2015-04-30    

实施日期：2015-10-01

发布部门：中华人民共和国工业和信息化部    

SJ/T 11495-2015《硅中间隙氧的转换因子指南》介绍

中华人民共和国工业和信息化部于2015年发布了SJ/T 11495-2015《硅中间隙氧的转换因子指南》，旨在指导硅中间隙氧含量的准确测定和评估。

一、标准概述

本标准规定了硅中间隙氧含量的测定方法、转换因子的确定以及结果的表示等内容。通过本标准的实施，可以确保硅中间隙氧含量的测定结果具有较高的准确性和可比性，为硅材料的质量控制和性能评估提供有力支持。

二、硅中间隙氧的测定方法

本标准推荐的硅中间隙氧含量的测定方法主要包括以下几种：

1、红外吸收法：通过测量硅片在特定波长下的红外吸收，计算出间隙氧的含量。

2、二次离子质谱法：利用二次离子质谱仪对硅片进行分析，测定间隙氧的含量。

3、X射线光电子能谱法：通过测量硅片表面的X射线光电子能谱，推断出间隙氧的含量。

三、转换因子的确定

转换因子是将测定结果转换为硅中间隙氧含量的关键参数。本标准规定了转换因子的确定方法，包括：

1、实验测定法：通过实验测定不同氧含量的硅片的红外吸收、二次离子质谱或X射线光电子能谱信号，建立信号强度与氧含量的关系，从而确定转换因子。

2、理论计算法：根据硅的晶体结构和氧的溶解度，通过理论计算得到转换因子。

四、结果的表示

本标准要求硅中间隙氧含量的测定结果应以质量分数的形式表示，并给出相应的不确定度。还应注明所使用的测定方法和转换因子。

五、标准的应用

本标准适用于各种类型的硅材料，包括单晶硅、多晶硅、硅片等。通过本标准的实施，可以为硅材料的生产、加工和应用提供准确的氧含量信息，从而提高硅材料的质量和性能。

SJ/T 11495-2015《硅中间隙氧的转换因子指南》的发布和实施，为硅中间隙氧含量的准确测定提供了科学依据和方法指导。通过本标准的推广应用，可以进一步提升硅材料的质量控制水平，推动半导体工业的持续发展。