GB/T 43885-2024《碳化硅外延片》

GB/T 43885-2024《碳化硅外延片》基本信息

标准号：GB/T 43885-2024

中文名称：《碳化硅外延片》

发布日期：2024-04-25    

实施日期：2024-11-01 即将实施  距离实施日期还有72天

发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会    

提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)    

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)    

起草单位：南京国盛电子有限公司、广东天域半导体股份有限公司、上海天岳半导体材料有限公司、北京天科合达半导体股份有限公司、瀚天天成电子科技(厦门)股份有限公司、ＴＣＬ环鑫半导体(天津)有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、南京盛鑫半导体材料有限公司等

起草人：李国鹏、仇光寅、刘勇、骆红、李素青、丁雄杰、舒天宇、佘宗静、冯淦、杨玉聪、王银海、侯晓蕊、薛宏伟、刘红超、金向军、尚海波、刘薇、王岩、徐所成、李毕庆、陈浩、袁肇耿、周勋、刘长春、汪之涵、黄勤金、赵丽丽、胡动力、和巍巍    

中国标准分类号：H83化合物半导体材料

国际标准分类号：29.045半导体材料

GB/T 43885-2024《碳化硅外延片》介绍

GB/T 43885-2024《碳化硅外延片》标准，是中国首个关于碳化硅外延片的国家标准。

一、技术要求

1、材料特性

标准对碳化硅外延片的材料特性提出了明确要求，包括但不限于晶格缺陷密度、电阻率、载流子浓度、表面平整度等。这些特性直接影响到外延片的电子性能和可靠性。

2、尺寸和形状

标准规定了外延片的尺寸范围和允许的公差，以及形状和边缘处理的要求。这有助于确保外延片在制造过程中的一致性和适用性。

3、表面质量

对于外延片的表面质量，标准提出了严格的要求，包括表面缺陷、污染物和损伤等。高质量的表面是保证外延片性能的关键。

二、试验方法

标准详细描述了用于评估外延片各项性能的试验方法，包括但不限于：

晶格缺陷的检测方法；

电阻率和载流子浓度的测量方法；

表面平整度的测量方法；

表面缺陷和污染物的检测方法。

三、检验规则

标准规定了外延片的检验规则，包括抽样方法、检验项目和合格判定标准。这些规则有助于确保外延片在生产过程中的质量控制。

四、标志、包装、运输和贮存

1、标志

标准要求外延片必须有清晰的标识，包括产品名称、规格、生产日期等信息，以便于追踪和识别。

2、包装

对于外延片的包装，标准提出了保护性、防潮、防震等要求，以确保产品在运输和存储过程中的安全。

3、运输

标准建议采取适当的运输方式，以减少对产品的损害。

4、贮存

标准规定了外延片的贮存条件，包括温度、湿度和环境要求，以保持产品的稳定性和性能。

五、实施意义

GB/T 43885-2024《碳化硅外延片》标准的发布和即将实施，对于推动中国碳化硅材料产业的标准化、规模化和国际化具有重要意义。不仅有助于提高国内碳化硅外延片的生产质量和技术水平，还能促进相关企业的技术创新和市场竞争力，为实现绿色、高效、可持续的半导体产业发展提供支撑。