《氮化镓外延片及衬底片通用规范》执行标准号

“氮化镓外延片及衬底片通用规范”的标准号是：GB/T 37053-2018

GB/T 37053-2018《氮化镓外延片及衬底片通用规范》由国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会于2018-12-28发布，并于2019-07-09实施。

该标准的起草单位为东莞市中镓半导体科技有限公司、合肥彩虹蓝光科技有限公司、苏州纳维科技有限公司、南京大学电子科学与工程学院、中国电子技术标准化研究院；起草人是丁晓民、刘南柳、潘尧波、徐科、修向前、孙永健、王香、张国义。

“氮化镓外延片及衬底片通用规范”介绍

氮化镓外延片及衬底片通用规范是指导生产和应用氮化镓材料的标准文件，旨在确保材料质量的一致性和可靠性。这些规范通常包含对外延片和衬底片的材料属性、尺寸规格、表面质量以及可能包含的缺陷类型等方面的详细要求。例如，规范会明确指出晶体结构应完整无缺，外延层应当具有高度的纯度和均匀性，同时对于表面的平整度和光洁度也有严格的标准。

这些规范还会包括测试方法和验收标准，以便制造商和用户能够对产品进行准确的评估。为了确保氮化镓材料的电子特性满足特定应用的需求，通用规范中会包括电气性能的指标，如载流子浓度和迁移率等参数。通过遵守这些规范，可以大大提高氮化镓外延片和衬底片在半导体器件制造中的可用性和最终产品的性能。