GB/T 12964-2018《硅单晶抛光片》

GB/T 12964-2018《硅单晶抛光片》基本信息

标准号：GB/T 12964-2018

中文名称：《硅单晶抛光片》

发布日期：2018-09-17    

实施日期：2019-06-01

发布部门：国家市场监督管理总局  国家标准化管理委员会    

提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)    

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)    

起草单位：有研半导体材料有限公司、上海合晶硅材料有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、浙江海纳半导体有限公司、浙江省硅材料质量检验中心、有色金属技术经济研究院、天津市环欧半导体材料技术有限公司

起草人：孙燕、卢立延、徐新华、张海英、楼春兰、杨素心、潘金平、张雪囡    

中国标准分类号：H82元素半导体材料

国际标准分类号：29.045半导体材料

GB/T 12964-2018《硅单晶抛光片》介绍

国家市场监督管理总局和国家标准化管理委员会联合发布了GB/T 12964-2018《硅单晶抛光片》国家标准。该标准自2019年6月1日起正式实施，为硅单晶抛光片的生产、检测和应用提供了明确的技术指导和质量要求。

一、标准概述

GB/T 12964-2018《硅单晶抛光片》标准是对硅单晶抛光片的规格、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等方面进行了全面规定。该标准适用于直径不小于50.8mm的硅单晶抛光片，包括用于集成电路、分立器件、光电子器件等半导体产品的制造。

二、规格要求

1、尺寸规格

标准规定了硅单晶抛光片的直径范围，从50.8mm到300mm不等，以满足不同应用领域的需求。同时，对于硅片的厚度和公差也进行了明确的规定，以确保硅片的一致性和加工精度。

2、表面质量

硅单晶抛光片的表面质量是影响其性能的关键因素之一。标准对表面平整度、表面粗糙度、表面缺陷等指标进行了严格的规定，确保硅片具有良好的表面特性。

三、性能要求

1、电学性能

硅单晶抛光片的电学性能直接关系到半导体器件的工作性能。标准对硅片的电阻率、载流子浓度、少子寿命等电学参数进行了规定，以保证硅片具有良好的电学特性。

2、机械性能

硅单晶抛光片在加工和使用过程中需要承受一定的机械应力。标准对硅片的抗弯强度、断裂韧性等机械性能参数进行了规定，以确保硅片具有足够的机械强度。

四、检验方法

标准详细规定了硅单晶抛光片的检验方法，包括尺寸测量、表面质量检查、电学性能测试和机械性能测试等。这些检验方法为硅片的质量控制提供了科学依据。

五、检验规则

1、抽样规则

标准规定了硅单晶抛光片的抽样规则，确保抽样的代表性和公正性。

2、合格判定

对于检验结果的合格判定，标准提供了明确的判定标准和方法，以确保硅片的质量符合要求。

六、标志、包装、运输和贮存

1、标志

标准规定了硅单晶抛光片的标志要求，包括产品名称、规格、生产日期、批号等信息，以便于产品的追溯和管理。

2、包装

硅单晶抛光片在包装时需采取适当的保护措施，以防止在运输和贮存过程中受损。标准对包装材料、包装方式等进行了规定。

3、运输

标准对硅单晶抛光片的运输条件进行了规定，以确保在运输过程中硅片不受损伤。

4、贮存

硅单晶抛光片在贮存时需要避免潮湿、高温等不良环境，标准对贮存条件进行了规定，以保证硅片的稳定性和可靠性。

GB/T 12964-2018《硅单晶抛光片》标准的发布和实施，对于提升我国硅单晶抛光片的产品质量、推动半导体行业的发展具有重要意义。