GB/T 15870-1995《硬面光掩模用铬薄膜》

GB/T 15870-1995《硬面光掩模用铬薄膜》基本信息

标准号：GB/T 15870-1995

中文名称：《硬面光掩模用铬薄膜》

发布日期：1995-01-02    

实施日期：1996-08-01

发布部门：国家技术监督局    

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会    

起草单位：长沙韶光微电子总公司

中国标准分类号：L97加工专用设备

国际标准分类号：31.030

GB/T 15870-1995《硬面光掩模用铬薄膜》介绍

GB/T 15870-1995《硬面光掩模用铬薄膜》是一项国家技术监督局发布的标准，自1996年8月1日起实施。

一、标准概述

GB/T 15870-1995《硬面光掩模用铬薄膜》是一项专门针对硬面光掩模中铬薄膜的国家标准。它规定了铬薄膜的制备工艺、性能要求、检验方法和包装、标志、运输、储存等方面的要求。

二、铬薄膜的制备工艺

标准中对铬薄膜的制备工艺进行了详细的规定。铬薄膜的制备应在无尘、干燥的环境中进行，以保证薄膜的质量。铬薄膜的厚度应均匀，且应在规定的范围内。标准还对铬薄膜的表面质量、附着力等进行了要求。

三、性能要求

铬薄膜的性能要求是GB/T 15870-1995的核心内容之一。标准规定了铬薄膜的光学性能、物理性能和化学性能等方面的要求。光学性能包括反射率、透射率等指标；物理性能包括硬度、耐磨性等指标；化学性能则包括耐腐蚀性等指标。这些性能要求确保了铬薄膜在实际应用中的可靠性和稳定性。

四、检验方法

为了确保铬薄膜的质量，GB/T 15870-1995规定了一系列的检验方法。这些方法包括对铬薄膜的厚度、表面质量、光学性能、物理性能和化学性能等方面的检测。通过这些检验方法，可以有效地评估铬薄膜的性能，确保其满足标准要求。

五、包装、标志、运输和储存

除了对铬薄膜本身的要求外，GB/T 15870-1995还对产品的包装、标志、运输和储存等方面进行了规定。包装应确保铬薄膜在运输和储存过程中不受损坏；标志应清晰、易读，便于识别；运输和储存条件应符合标准要求，以保证铬薄膜的质量和性能。

六、标准的意义和应用

GB/T 15870-1995《硬面光掩模用铬薄膜》的发布和实施，对于提升我国半导体制造和集成电路工艺的技术水平具有重要意义。它规范了铬薄膜的生产过程，提高了产品质量，为相关行业的发展提供了有力的支持。