YS/T 893-2013《电子薄膜用高纯钛溅射靶材》

YS/T 893-2013《电子薄膜用高纯钛溅射靶材》基本信息

标准号：YS/T 893-2013

中文名称：《电子薄膜用高纯钛溅射靶材》

发布日期：2013-10-17    

实施日期：2014-03-01

发布部门：中华人民共和国工业和信息化部    

归口单位：全国有色金属标准化技术委员(SAC/TC 243)    

起草单位：有研亿金新材料股份有限公司、宁波江丰电子材料有限公司

起草人：何金江、董亭义、袁海军、罗俊锋、滕海涛、喻洁、贺昕、钱红兵、周辰、刘丹、陆灵芝、王学泽、熊晓东    

中国标准分类号：H64稀有轻金属及其合金

国际标准分类号：77.150.50钛产品

YS/T 893-2013《电子薄膜用高纯钛溅射靶材》介绍

《电子薄膜用高纯钛溅射靶材》（YS/T 893-2013）标准正是为了规范和提升电子薄膜用高纯钛溅射靶材的质量而制定。该标准由中华人民共和国工业和信息化部发布，并于2014年3月1日正式实施。

一、标准概述

YS/T 893-2013标准主要规定了电子薄膜用高纯钛溅射靶材的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和质量证明书等方面的内容。这一标准旨在确保高纯钛溅射靶材的质量和性能，满足电子工业对材料的高标准要求。

二、技术要求

1、化学成分

标准详细规定了高纯钛溅射靶材的化学成分要求，包括钛（Ti）的纯度不得低于99.995%，以及铁（Fe）、碳（C）、氮（N）、氢（H）等杂质元素的最高含量限制。这些严格的化学成分要求确保了靶材的高纯度和稳定性。

2、物理性能

除了化学成分，标准还对靶材的物理性能提出了要求，如密度、硬度、抗拉强度等。这些物理性能指标对于确保靶材在溅射过程中的可靠性和耐用性至关重要。

三、试验方法

1、化学分析

标准规定了化学成分分析的方法，包括光谱分析、滴定分析等，以确保靶材成分的准确测定。

2、物理性能测试

对于物理性能的测试，标准提供了详细的测试方法，如硬度测试、抗拉强度测试等，以确保靶材的物理性能符合要求。

四、检验规则

1、出厂检验

标准规定了出厂检验的项目和频率，确保每批产品在出厂前都经过严格的质量控制。

2、型式检验

对于型式检验，标准规定了检验的项目和条件，以确保产品在规定的使用条件下的性能稳定性。

五、标志、包装、运输和贮存

1、标志

标准要求产品必须有明显的标志，包括产品名称、规格、生产批号等，以便于识别和追溯。

2、包装

对于包装，标准规定了包装材料和包装方式，以保护产品在运输过程中不受损坏。

3、运输

在运输方面，标准提出了运输过程中的注意事项，以确保产品安全到达目的地。

4、贮存

标准还规定了产品的贮存条件，包括温度、湿度等，以保持产品的稳定性和性能。

六、质量证明书

标准要求每批产品都应附有质量证明书，证明书应包含产品的详细信息和检验结果，以便于用户了解产品的质量状况。