YS/T 936-2013《集成电路器件用镍钒合金靶材》

YS/T 936-2013《集成电路器件用镍钒合金靶材》基本信息

标准号：YS/T 936-2013

中文名称：《集成电路器件用镍钒合金靶材》

发布日期：2013-10-17

实施日期：2014-03-01

发布部门：中华人民共和国工业和信息化部

归口单位：全国有色金属标准化技术委员(SAC/TC 243)

起草单位：有研亿金新材料股份有限公司等

起草人：董亭义、何金江、刘红宾、张涛、姚力军、王学泽、向磊、徐学礼、朱晓光、丁照崇、吕超、雷继峰、熊晓东、张殿凯、李娜

中国标准分类号：H62重金属及其合金

国际标准分类号：77.150.40镍和铬产品

YS/T 936-2013《集成电路器件用镍钒合金靶材》介绍

中华人民共和国工业和信息化部于2013年10月17日发布了YS/T 936-2013《集成电路器件用镍钒合金靶材》标准，并于2014年3月1日起正式实施。

一、技术要求

1、化学成分

标准对镍钒合金靶材的化学成分提出了明确要求，规定了镍、钒、铁、硅、磷、硫、碳等元素的含量范围。其中，镍含量应在65%~75%之间，钒含量应在5%~15%之间，铁含量不大于0.5%，硅含量不大于0.5%，磷含量不大于0.03%，硫含量不大于0.03%，碳含量不大于0.1%。

2、物理性能

标准对镍钒合金靶材的物理性能也进行了规定，包括密度、熔点、热膨胀系数等。其中，密度应在8.5g/cm³~8.8g/cm³之间，熔点应在1400℃~1450℃之间，热膨胀系数应在12.0×10⁻⁶/℃~14.0×10⁻⁶/℃之间。

3、组织结构

标准要求镍钒合金靶材的组织结构应均匀，无明显偏析、夹杂等缺陷。

4、表面质量

标准对镍钒合金靶材的表面质量提出了要求，规定靶材表面应光洁、无裂纹、无氧化皮等缺陷。

二、试验方法

标准规定了镍钒合金靶材的化学成分分析、物理性能测试、组织结构检查、表面质量检查等试验方法。其中，化学成分分析采用光谱分析法，物理性能测试包括密度测定、熔点测定、热膨胀系数测定等，组织结构检查采用金相显微镜检查，表面质量检查采用肉眼或放大镜检查。

三、检验规则

1、出厂检验

标准规定了镍钒合金靶材的出厂检验项目和要求，包括化学成分、物理性能、组织结构和表面质量等。

2、型式检验

标准规定了镍钒合金靶材的型式检验条件和项目，包括化学成分、物理性能、组织结构和表面质量等。

3、验收检验

标准规定了镍钒合金靶材的验收检验项目和要求，包括化学成分、物理性能、组织结构和表面质量等。

四、标志、包装、运输和贮存

标准对镍钒合金靶材的标志、包装、运输和贮存提出了要求。靶材应有清晰的标识，包括产品名称、牌号、批号、生产日期等信息。包装应符合运输和贮存要求，防止靶材受损。运输过程中应避免剧烈震动和碰撞，贮存时应放置在干燥、通风、无腐蚀性气体的环境中。

五、质量证明书

标准规定了镍钒合金靶材的质量证明书应包含的内容，包括产品名称、牌号、批号、生产日期、化学成分、物理性能、组织结构、表面质量等信息，以便于用户了解产品的质量情况。