GB/T 11068-2006《砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法》

GB/T 11068-2006《砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法》基本信息

标准号：GB/T 11068-2006

中文名称：《砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法》

发布日期：2006-07-18

实施日期：2006-11-01

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会

提出单位：中国有色金属工业协会

归口单位：全国有色金属标准化技术委员会

起草单位：北京有色金属研究总院

起草人：王彤涵

中国标准分类号：H21金属物理性能试验方法

国际标准分类号：71.060.50盐

GB/T 11068-2006《砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法》介绍

GB/T 11068-2006《砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法》标准由中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局和中国国家标准化管理委员会联合发布，于2006年7月18日发布，并于2006年11月1日起正式实施。

一、适用范围

GB/T 11068-2006标准适用于砷化镓外延层载流子浓度的电容-电压测量。这种方法可以用于评估砷化镓外延层的掺杂浓度、载流子类型、载流子寿命等重要参数，对于砷化镓外延层的制造、检测和应用具有重要意义。

二、测量原理

电容-电压测量方法（C-V测量）是一种非破坏性的电学测试技术，通过测量砷化镓外延层在不同电压下的电容变化，可以推断出载流子浓度等参数。C-V测量的原理是利用MOS（金属-氧化物-半导体）结构，通过改变栅极电压，观察电容的变化，从而得到载流子浓度等信息。

三、测量设备

1、半导体参数分析仪：用于测量电容、电压等参数。

2、测试夹具：用于固定砷化镓外延片，保证测量的准确性。

3、温度控制系统：用于控制测试过程中的温度，确保测量结果的稳定性。

四、测量步骤

1、准备工作：将砷化镓外延片安装在测试夹具上，连接好测量设备。

2、设定参数：根据需要测量的载流子浓度范围，设定栅极电压的范围。

3、测量电容-电压特性：在设定的电压范围内，逐点测量电容值，并记录数据。

4、数据分析：根据测量得到的电容-电压特性曲线，分析载流子浓度等参数。

五、结果评估

通过C-V测量得到的数据，可以评估砷化镓外延层的载流子浓度、掺杂浓度、载流子类型等参数。这些参数对于砷化镓外延层的性能和应用具有重要意义。通过对比不同批次、不同工艺的砷化镓外延层的C-V特性，可以对生产工艺进行优化，提高产品质量。

六、标准的意义

GB/T 11068-2006《砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法》标准的制定和实施，对于提高砷化镓外延层的生产质量、保证其在各种应用中的可靠性和稳定性具有重要意义。这一标准也为砷化镓外延层的检测和评估提供了科学、准确的依据，有助于推动半导体产业的发展。