YS/T 718-2009《平面磁控溅射靶材 光学薄膜用铌靶》

YS/T 718-2009《平面磁控溅射靶材 光学薄膜用铌靶》基本信息

标准号：YS/T 718-2009

中文名称：《平面磁控溅射靶材 光学薄膜用铌靶》

发布日期：2009-12-04

实施日期：2010-06-01

发布部门：中华人民共和国工业和信息化部

提出单位：全国有色金属标准化技术委员会

归口单位：全国有色金属标准化技术委员会

起草单位：金川集团有限公司

起草人：汪锦瑞、宋谋通、郭大鹏、李娟、林秀英、吴亚辉

中国标准分类号：H63稀有高熔点金属及其化合物

国际标准分类号：77.150.99其他有色金属产品

YS/T 718-2009《平面磁控溅射靶材 光学薄膜用铌靶》介绍

本文将对YS/T 718-2009《平面磁控溅射靶材 光学薄膜用铌靶》标准由中华人民共和国工业和信息化部发布，自2010年6月1日起施行。

一、标准概述

YS/T 718-2009标准主要规定了平面磁控溅射靶材中光学薄膜用铌靶的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存等要求。

二、技术要求

1、铌靶的化学成分要求：标准规定了铌靶中铌的含量、杂质含量等化学成分的具体要求，以确保铌靶的纯度和性能。

2、铌靶的物理性能要求：包括铌靶的密度、硬度、抗拉强度等物理性能指标，以评估铌靶的机械性能。

3、铌靶的外观质量要求：规定了铌靶表面不得有裂纹、氧化、腐蚀等缺陷，以保证铌靶的使用性能。

三、试验方法

1、化学成分分析：通过光谱分析、滴定法等方法，对铌靶的化学成分进行测定。

2、物理性能测试：通过硬度计、拉伸试验机等设备，对铌靶的物理性能进行测试。

3、外观质量检查：通过目视检查和相关仪器设备，对铌靶的外观质量进行评估。

四、检验规则

1、出厂检验：铌靶生产企业应按照标准要求对产品进行出厂检验，确保产品质量。

2、型式检验：在铌靶生产过程中，应定期进行型式检验，以评估产品的性能稳定性。

3、验收检验：用户在接收铌靶产品时，应按照标准要求进行验收检验，确保产品符合使用要求。

五、标志、包装、运输和储存

1、标志：铌靶产品应有清晰的产品名称、规格型号、生产日期等信息的标志。

2、包装：铌靶产品应采用适当的包装方式，以保护产品在运输过程中不受损坏。

3、运输：铌靶产品在运输过程中应避免剧烈震动和碰撞，以防止产品受损。

4、储存：铌靶产品应储存在干燥、通风、无腐蚀性气体的环境中，以保证产品性能的稳定性。

YS/T 718-2009《平面磁控溅射靶材 光学薄膜用铌靶》标准的制定和实施，对于规范光学薄膜用铌靶的生产和使用、提高产品质量、满足市场需求具有重要意义。各相关企业和用户应严格按照标准要求进行生产、检验和使用，以确保铌靶产品的质量和性能。