高纯氩检测标准是什么

高纯氩检测主要依据 GB/T 4842-2017《氩》标准，该标准规定了高纯氩的技术要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、贮运及安全警示等内容，适用于深冷法从空气、合成氨尾气中提取的气态和液态纯氩和高纯氩。

一、高纯氩的纯度要求

1、纯度标准：高纯氩的纯度通常要求在99.999%以上，即所谓的5N纯度。这意味着在每100万个氩气分子中，杂质分子的数量不超过5个。这种高纯度要求对于保证工艺过程的稳定性和产品的质量至关重要。

2、杂质含量：除了纯度要求外，高纯氩中还必须严格控制各种杂质的含量。这些杂质包括氧气、氮气、氢气、二氧化碳等，它们的存在可能会影响工艺过程或产品的最终性能。

二、高纯氩检测标准的具体内容

1、国际标准：ISO 14175-1:2001《气体分析-纯度和杂质含量的测定-第1部分：使用气相色谱法测定纯度和杂质含量》是国际上广泛认可的高纯氩检测标准之一。

2、国家标准：不同国家也有自己的国家标准，例如GB/T 5099-2017《工业用气体 纯度和气体分析》规定了工业用气体的纯度要求和检测方法。

3、行业标准：除了国际和国家标准外，一些行业组织也会制定自己的标准，如半导体行业对高纯氩的纯度和杂质含量有更为严格的要求。

三、检测方法

1、气相色谱法：气相色谱法是检测高纯氩中杂质含量的常用方法。通过色谱柱分离不同组分，然后通过检测器检测各组分的浓度。

2、质谱法：质谱法可以提供高灵敏度和高选择性的检测，适用于检测高纯氩中的痕量杂质。

3、红外光谱法：红外光谱法可以用于检测高纯氩中的特定杂质，如二氧化碳。

4、氧分析仪：对于氧气这一特定杂质，可以使用氧分析仪进行检测。

四、检测流程

1、样品采集：首先需要从高纯氩的供应系统中采集样品，确保样品的代表性。

2、样品预处理：根据检测方法的不同，可能需要对样品进行预处理，如去除水分、过滤等。

3、检测分析：使用上述提到的检测方法对样品进行分析，测定纯度和杂质含量。

4、结果评估：根据检测结果与标准要求进行对比，评估高纯氩的质量是否达标。

五、质量控制

1、定期检测：为了保证高纯氩的持续质量，需要定期进行检测。

2、过程监控：在生产和使用过程中，应实时监控高纯氩的质量，及时发现并解决问题。

3、设备校准：检测设备需要定期校准，以确保检测结果的准确性。