JJF 1100-2003《平面等厚干涉仪校准规范》

JJF 1100-2003《平面等厚干涉仪校准规范》基本信息

标准号：JJF 1100-2003

中文名称：《平面等厚干涉仪校准规范》

发布日期：2003-05-12    

实施日期：2003-11-12

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局    

归口单位：全国几何量工程参量计量技术委员会    

起草单位：中国测试技术研究院

起草人：冉庆、陈永康等    

中国标准分类号：A52长度计量

JJF 1100-2003《平面等厚干涉仪校准规范》介绍

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局于2003年发布了《平面等厚干涉仪校准规范》(JJF 1100-2003)，自2003年11月12日起实施。

一、标准概述

《平面等厚干涉仪校准规范》(JJF 1100-2003)是一份重要的技术文件，它规定了平面等厚干涉仪校准的基本原则、校准方法、校准项目、校准周期等内容。

二、校准原则

1、准确性：校准工作应确保平面等厚干涉仪的测量结果与真实值的偏差在允许范围内，以满足实际测量需求。

2、可靠性：校准工作应确保校准后的设备在一定周期内保持测量结果的稳定性。

3、可追溯性：校准结果应能够追溯到国家或国际标准，确保测量结果的权威性。

三、校准方法

1、光学路径差校准：确保干涉仪的光学路径差测量准确无误。

2、波前误差校准：对干涉仪的波前误差进行校准，以提高测量精度。

3、系统误差校准：对干涉仪可能存在的系统误差进行补偿和校准。

四、校准项目

1、光学元件的校准：对干涉仪的光学元件进行校准，确保其性能满足要求。

2、测量系统的校准：对干涉仪的测量系统进行全面校准，确保系统整体性能的稳定性和可靠性。

3、环境条件的校准：考虑到环境因素对测量结果的影响，对环境条件进行校准。

五、校准周期

为了确保设备长期稳定运行，标准规定了校准的周期。一般而言，校准周期应根据设备使用频率、环境条件等因素综合确定，以保证测量结果的准确性。