GB/T 1558-2009《硅中代位碳原子含量 红外吸收测量方法》

GB/T 1558-2009《硅中代位碳原子含量 红外吸收测量方法》基本信息

标准号：GB/T 1558-2009

中文名称：《硅中代位碳原子含量 红外吸收测量方法》

发布日期：2009-10-30    

实施日期：2010-06-01

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局  中国国家标准化管理委员会    

提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会    

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会    

起草单位：信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第四十六研究所、峨嵋半导体材料厂

起草人：何秀坤、李静、段曙光、梁洪    

中国标准分类号：H80半金属与半导体材料综合

国际标准分类号：29.045半导体材料

GB/T 1558-2009《硅中代位碳原子含量 红外吸收测量方法》介绍

GB/T 1558-2009《硅中代位碳原子含量 红外吸收测量方法》是由中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局和中国国家标准化管理委员会联合发布的一项国家标准。

一、标准发布与实施

该标准发布于2009年10月30日，并于2010年6月1日起正式实施。自实施之日起，相关硅材料生产和检测机构需按照该标准的要求进行硅中代位碳原子含量的测量，以确保硅材料的质量和性能满足国家标准。

二、标准适用范围

GB/T 1558-2009标准适用于硅中代位碳原子含量的测定，包括单晶硅、多晶硅、硅片等硅材料。通过红外吸收光谱法，可以准确测量硅中代位碳原子的含量，为硅材料的加工、应用和质量控制提供重要数据。

三、标准主要内容

1、原理：标准规定了利用红外吸收光谱法测定硅中代位碳原子含量的原理，即通过测量硅中特定波长的红外吸收峰，计算出代位碳原子的含量。

2、仪器设备：标准对测量所需的仪器设备进行了规定，包括红外吸收光谱仪、样品制备设备等，以确保测量结果的准确性和重复性。

3、样品制备：标准详细规定了硅样品的制备方法，包括样品的切割、抛光、清洗等步骤，以保证样品的质量和测量结果的准确性。

4、测量条件：标准对测量过程中的温度、湿度、波长范围等条件进行了规定，以确保测量结果的稳定性和可靠性。

5、数据处理：标准规定了测量结果的数据处理方法，包括基线校正、峰面积计算等，以提高测量结果的准确性。

6、结果表示：标准规定了测量结果的表示方法，包括代位碳原子含量的单位、精度要求等，以便于结果的比较和分析。

四、标准实施意义

GB/T 1558-2009标准的实施，对于提高硅材料的质量和性能具有重要意义。通过准确测量硅中代位碳原子的含量，可以及时发现和控制硅材料中的杂质，提高硅材料的纯度和稳定性。该标准的实施还有助于规范硅材料的检测方法，提高检测结果的准确性和可靠性，为硅材料的研发、生产和应用提供有力的技术支撑。