《金属氧化物半导体气敏件测试方法》执行标准号

“金属氧化物半导体气敏件测试方法”的标准号是：SJ 20026-1992

SJ 20026-1992《金属氧化物半导体气敏件测试方法》由中国电子工业总公司于1992-02-01发布，并于1992-05-01实施。

该标准的起草单位为国营四三二二厂；起草人是孟长年、孟繁英。

“金属氧化物半导体气敏件测试方法”介绍

金属氧化物半导体气敏件是一种能够检测气体成分和浓度的电子设备，广泛应用于环境监测、工业过程控制以及医疗诊断等领域。在对这些气敏元件进行性能测试时，需要遵循特定的测试方法以确保结果的精确性和可重复性。

测试过程中要确保气敏件处于稳定的工作环境之中。这通常意味着要在一个温湿度可控的环境中进行测试，以避免外界环境的波动对测试结果造成影响。测试所用的气体样本应当是纯净且浓度已知的，这样才能获得准确的响应数据。

接下来，测试包括将气敏件暴露在不同的气体环境中并记录其电阻或电压的变化情况。这些变化反映了气敏材料对特定气体的灵敏度。为了全面评估其性能，通常需要在不同浓度的气体环境下重复测试，从而绘制出器件的灵敏度曲线。测试时还应注意避免长时间连续测量导致的传感器疲劳问题。

分析测试数据时，应重点考虑器件的响应时间、恢复时间、选择性以及对目标气体的稳定性等参数。响应时间指的是气敏件从接触气体到达到稳定读数所需的时间，而恢复时间则是器件从脱离气体后回到基线状态所需的时长。选择性则体现了气敏件区分不同气体的能力，稳定性则是指器件反复使用时能否保持一致的响应性能。通过综合这些指标，可以全面评价金属氧化物半导体气敏件的性能优劣，为后续的应用提供重要的参考信息。