《微纳米标准样板（几何量）》标准号是多少

“微纳米标准样板（几何量）”的标准号是：GB/T 39516-2020

GB/T 39516-2020《微纳米标准样板（几何量）》由国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会于2020-11-19发布，并于2021-06-01实施。

该标准的起草单位为中国电子科技集团公司第十三研究所、成都工具研究所有限公司、广西壮族自治区计量检测研究院、中国计量科学研究院、上海市计量测试技术研究院、中国计量大学、珠海市怡信测量科技有限公司；起草人是李锁印、付兴昌、梁法国、韩志国、赵琳、冯亚南、许晓青、张晓东、姜志刚、许刚、苏冀雄、张恒、雷李华、赵军、张松涛、蔡潇雨、傅云霞。

“微纳米标准样板（几何量）”介绍

微纳米标准样板（几何量）是一种高精度的测量工具，它通常用来校准和验证扫描探针显微镜、原子力显微镜以及其他高分辨率的表面测量设备。这类样板拥有极其精细且精确度很高的表面结构，其特征尺寸通常在微米至纳米级别，因此它们对于确保微小尺度下测量结果的准确性至关重要。

微纳米标准样板（几何量）的表面结构设计得非常精巧，常见的几何形状包括但不限于线条、孔洞、台阶以及各种规则和不规则图案。这些结构通过高精度制造工艺如电子束光刻、离子束刻蚀等技术加工而成，以确保它们的尺寸和形状达到极高的准确度和重现性。

在应用上，微纳米标准样板（几何量）不仅用于日常的仪器校准工作，还是进行材料科学、生物工程、纳米技术开发等研究领域中不可或缺的参照物。研究人员利用这些样板对新型材料的性能进行定量分析，或是在纳米尺度下进行精确的操作和实验。随着纳米科技的发展，这些标准样板的设计和应用也在持续进步，以满足日益增长的工业和科研需求。