GB/T 33236-2016《多晶硅 痕量元素化学分析 辉光放电质谱法》

GB/T 33236-2016《多晶硅  痕量元素化学分析  辉光放电质谱法》基本信息

标准号：GB/T 33236-2016

中文名称：《多晶硅  痕量元素化学分析  辉光放电质谱法》

发布日期：2016-12-13    

实施日期：2017-11-01

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局  中国国家标准化管理委员会    

提出单位：全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)    

归口单位：全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)    

起草单位：中国科学院上海硅酸盐研究所

起草人：卓尚军、钱荣、董疆丽、申如香、盛成、高捷、郑文平    

中国标准分类号：G04基础标准与通用方法

国际标准分类号：71.040.40化学分析

GB/T 33236-2016《多晶硅  痕量元素化学分析  辉光放电质谱法》介绍

GB/T 33236-2016《多晶硅 痕量元素化学分析 辉光放电质谱法》是由中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局和中国国家标准化管理委员会联合发布的国家标准。该标准于2016年12月13日发布，并自2017年11月1日起正式实施。

一、标准规定内容

1、范围

本标准规定了使用辉光放电质谱法（Glow Discharge Mass Spectrometry, GD-MS）对多晶硅材料中痕量元素进行化学分析的方法。适用于多晶硅材料中痕量元素的定量分析，包括但不限于硼（B）、磷（P）、铝（Al）、硅（Si）等元素。

2、原理

辉光放电质谱法是一种原子发射光谱技术，通过在样品表面产生辉光放电，使样品原子电离，然后通过质谱仪对产生的离子进行质量分析，从而实现对样品中痕量元素的定性和定量分析。

3、仪器和材料

标准详细列出了进行辉光放电质谱分析所需的仪器设备，包括辉光放电质谱仪、样品支架、清洗液等，并规定了这些仪器和材料的技术要求和操作条件。

4、样品制备

对于多晶硅样品的制备，标准提供了详细的步骤和方法，包括样品的切割、清洗、干燥和储存等，以确保样品的代表性和分析结果的准确性。

5、分析步骤

标准详细描述了从样品制备到数据分析的整个分析流程，包括样品的辉光放电、质谱分析、数据处理和结果报告等步骤。

6、结果计算

对于分析结果的计算，标准提供了具体的计算公式和方法，包括校准曲线的建立、定量分析的计算以及不确定度的评估等。

7、精密度和准确度

标准还对分析方法的精密度和准确度提出了要求，包括重复性和再现性的评价，以及通过标准物质或参考方法进行的准确度验证。

二、标准的意义

GB/T 33236-2016的实施，为多晶硅材料的痕量元素分析提供了统一的技术规范，有助于提高分析结果的准确性和可比性，对于保证多晶硅材料的质量、推动相关产业的发展具有重要意义。