SJ 20713-1998《砷化镓用高钝镓中铜、锰、镁、钒、钛等12种杂质的等离子体光谱分析法》

SJ 20713-1998《砷化镓用高钝镓中铜、锰、镁、钒、钛等12种杂质的等离子体光谱分析法》基本信息

标准号：SJ 20713-1998

中文名称：《砷化镓用高钝镓中铜、锰、镁、钒、钛等12种杂质的等离子体光谱分析法》

发布日期：1998-03-18    

实施日期：1998-05-01

发布部门：中华人民共和国电子工业部    

归口单位：中国电子技术标准化研究所    

起草单位：电子工业部第四十六研究所

起草人：张淑珍、王春梅、吴琼、段曙光    

中国标准分类号：L5971

SJ 20713-1998《砷化镓用高钝镓中铜、锰、镁、钒、钛等12种杂质的等离子体光谱分析法》介绍

SJ 20713-1998《砷化镓用高钝镓中铜、锰、镁、钒、钛等12种杂质的等离子体光谱分析法》是一项由中国电子工业部于1998年3月18日发布，并于同年5月1日实施的国家标准。

一、标准的背景和目的

砷化镓是一种重要的半导体材料，广泛应用于电子工业、光电子工业等领域。在砷化镓的生产过程中，高钝镓作为其原料之一，其纯度对砷化镓的性能有重要影响。因此，对高钝镓中的杂质进行准确分析具有重要意义。SJ 20713-1998标准旨在规范高钝镓中12种杂质的等离子体光谱分析方法，提高分析的准确性和可重复性。

二、标准的适用范围

SJ 20713-1998标准适用于砷化镓用高钝镓中铜、锰、镁、钒、钛等12种杂质的分析。这些杂质包括铜（Cu）、锰（Mn）、镁（Mg）、钒（V）、钛（Ti）、铁（Fe）、铬（Cr）、钴（Co）、镍（Ni）、铝（Al）、锌（Zn）、银（Ag）和镉（Cd）。

三、标准的分析方法

SJ 20713-1998标准规定了一种基于等离子体光谱分析的分析方法。该方法具有较高的灵敏度和准确度，能够对高钝镓中的12种杂质进行准确分析。具体分析步骤如下：

1、样品制备：将高钝镓样品溶解在适当的溶剂中，制备成溶液。

2、标准溶液制备：制备含有已知浓度的杂质元素的标准溶液。

3、仪器校准：使用标准溶液对等离子体光谱仪进行校准。

4、样品分析：将样品溶液注入等离子体光谱仪，进行分析。

5、数据处理：根据仪器测得的光谱数据，计算出样品中杂质元素的浓度。

四、标准的准确性和可重复性

SJ 20713-1998标准对分析方法的准确性和可重复性提出了严格要求。通过使用标准溶液进行仪器校准，可以确保分析结果的准确性。标准还规定了多次重复分析的步骤，以评估分析方法的可重复性。

五、标准的实施意义

SJ 20713-1998标准的实施对于提高砷化镓生产的质量具有重要意义。通过规范高钝镓中杂质的分析方法，可以确保砷化镓的纯度，从而提高砷化镓的性能和稳定性。该标准还有助于提高分析人员的技能水平，促进分析技术的交流和发展。

六、标准的推广和应用

自1998年实施以来，SJ 20713-1998标准已经在砷化镓生产领域得到了广泛应用。许多企业和研究机构都采用了这一标准进行高钝镓中杂质的分析。随着砷化镓在电子工业和光电子工业等领域的广泛应用，SJ 20713-1998标准将继续发挥重要作用。