YS/T 1024-2015《溅射用钽靶材》

YS/T 1024-2015《溅射用钽靶材》基本信息

标准号：YS/T 1024-2015

中文名称：《溅射用钽靶材》

发布日期：2015-04-30    

实施日期：2015-10-01

发布部门：中华人民共和国工业和信息化部    

提出单位：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)    

归口单位：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)    

起草单位：宁夏东方钽业股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、宁波江丰电子材料股份有限公司、西安方科新材料科技有限公司

起草人：钟景明、李桂鹏、汪凯、李兆博、姚力军、熊晓东、王莉、宿康宁、王小青、杜铁路    

中国标准分类号：H63稀有高熔点金属及其化合物

国际标准分类号：77.150.99其他有色金属产品

YS/T 1024-2015《溅射用钽靶材》介绍

中华人民共和国工业和信息化部于2015年发布了YS/T 1024-2015《溅射用钽靶材》标准，旨在规范钽靶材的生产和应用，提高靶材的质量和可靠性。

一、标准概述

YS/T 1024-2015《溅射用钽靶材》标准规定了溅射用钽靶材的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和质量证明书等内容。该标准适用于溅射用钽靶材的生产和应用，为靶材的生产和使用提供了明确的技术指导。

二、技术要求

1、化学成分

标准规定了钽靶材的化学成分，包括钽的含量、杂质含量等。钽靶材应满足以下化学成分要求：

钽(Ta)含量：≥99.95%

杂质含量：应符合标准规定的要求

2、物理性能

钽靶材的物理性能直接影响溅射膜层的质量和稳定性。标准规定了钽靶材的密度、硬度、晶粒度等物理性能指标。

3、尺寸和形状

钽靶材的尺寸和形状应符合标准规定的要求，以满足不同溅射设备的需求。标准规定了钽靶材的直径、厚度、平面度等尺寸指标。

三、试验方法

标准规定了钽靶材的化学成分分析、物理性能测试、尺寸和形状检测等试验方法。这些试验方法为钽靶材的质量控制提供了科学依据。

1、化学成分分析

化学成分分析主要包括光谱分析、重量法等方法，以确保钽靶材的化学成分符合标准要求。

2、物理性能测试

物理性能测试包括密度测定、硬度测试、晶粒度检测等，以评估钽靶材的物理性能。

3、尺寸和形状检测

尺寸和形状检测主要包括直径、厚度、平面度等指标的测量，以确保钽靶材的尺寸和形状满足标准要求。

四、检验规则

标准规定了钽靶材的检验规则，包括出厂检验、型式检验和周期检验等。这些检验规则为钽靶材的质量控制提供了保障。

1、出厂检验

出厂检验是钽靶材生产过程中的最后一道质量控制环节，主要包括化学成分、物理性能、尺寸和形状等方面的检验。

2、型式检验

型式检验是对钽靶材进行的全面检验，以评估钽靶材的性能是否满足标准要求。型式检验应在钽靶材生产过程中的适当时间进行。

3、周期检验

周期检验是对钽靶材进行的定期检验，以确保钽靶材在长期使用过程中的稳定性和可靠性。

五、标志、包装、运输和贮存

标准规定了钽靶材的标志、包装、运输和贮存要求，以确保钽靶材在生产、运输和使用过程中的质量。

1、标志

钽靶材应有清晰的产品标志，包括产品名称、规格、生产日期、生产批号等信息。

2、包装

钽靶材的包装应符合标准规定的要求，以保护钽靶材在运输和使用过程中不受损坏。

3、运输

钽靶材的运输应遵循安全、快捷的原则，确保钽靶材在运输过程中的质量。

4、贮存

钽靶材的贮存应符合标准规定的要求，以确保钽靶材在贮存过程中的稳定性。