GB/T 29506-2013《300mm 硅单晶抛光片》

GB/T 29506-2013《300mm 硅单晶抛光片》基本信息

标准号：GB/T 29506-2013

中文名称：《300mm 硅单晶抛光片》

发布日期：2013-05-09    

实施日期：2014-02-01

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局  中国国家标准化管理委员会    

提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)    

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)    

起草单位：有研半导体材料股份有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所

起草人：闫志瑞、孙燕、盛方毓、卢立延、张果虎、向磊    

中国标准分类号：H82元素半导体材料

国际标准分类号：29.045半导体材料

GB/T 29506-2013《300mm 硅单晶抛光片》介绍

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局与中国国家标准化管理委员会联合发布了《300mm 硅单晶抛光片》国家标准（GB/T 29506-2013）。

一、标准概述

《300mm 硅单晶抛光片》国家标准（GB/T 29506-2013）是中国硅单晶抛光片行业的重要规范文件，它规定了300mm硅单晶抛光片的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等方面的具体要求。该标准自2013年5月9日发布，并于2014年2月1日起正式实施。

二、技术要求

1、材料特性

标准对硅单晶抛光片的材料特性进行了严格规定，包括硅纯度、晶体缺陷、电阻率、晶向和表面平整度等。这些特性直接影响到硅片在后续工艺中的加工性能和最终产品的质量。

2、尺寸和公差

标准详细规定了硅单晶抛光片的直径、厚度、边缘倒角等尺寸参数及其公差范围，确保硅片在晶圆制造过程中的一致性和互换性。

3、表面特性

表面特性包括表面粗糙度、表面颗粒和表面缺陷等，这些特性对于硅片的加工和器件的性能至关重要。标准对这些表面特性的检测方法和评价标准进行了明确的规定。

三、试验方法

标准中详细列出了硅单晶抛光片各项性能指标的测试方法，包括但不限于：

硅纯度的测定

晶体缺陷的评估

电阻率的测量

晶向的测定

表面特性的检测

这些试验方法为硅单晶抛光片的质量控制提供了科学依据。

四、检验规则

1、出厂检验

出厂检验是保证硅单晶抛光片质量的重要环节。标准规定了出厂检验的项目、频率和合格标准。

2、型式检验

型式检验是对硅单晶抛光片进行全面性能评估的过程。标准规定了型式检验的项目、条件和周期。

五、标志、包装、运输和贮存

1、标志

标准要求硅单晶抛光片在出厂时必须附有清晰的标识，包括产品型号、生产批号、生产日期等信息。

2、包装

为了保护硅单晶抛光片在运输过程中不受损坏，标准对包装材料和包装方式提出了具体要求。

3、运输

标准指出了硅单晶抛光片在运输过程中应避免的不利条件，如高温、潮湿、冲击等。

4、贮存

标准对硅单晶抛光片的贮存条件进行了规定，以确保其在贮存期间的性能稳定。

《300mm 硅单晶抛光片》国家标准（GB/T 29506-2013）的发布和实施，对于规范硅单晶抛光片的生产、提高产品质量、促进半导体产业的发展具有重要意义。