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GB/T 4059-2018《硅多晶气氛区熔基磷检验方法》

GB/T 4059-2018更新时间: 2025-06-10
标准详情

GB/T 4059-2018《硅多晶气氛区熔基磷检验方法》基本信息

标准号:GB/T 4059-2018

中文名称:《硅多晶气氛区熔基磷检验方法》

发布日期:2018-12-28    

实施日期:2019-11-01

发布部门:国家市场监督管理总局   国家标准化管理委员会    

提出单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)    

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)    

起草单位:江苏中能硅业科技发展有限公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、亚洲硅业(青海)有限公司、内蒙古神舟硅业有限责任公司、新特能源股份有限公司等

起草人:胡伟、耿全荣、胡自强、鲁文锋、柳德发、薛心禄、蔡延国、尹东林、宗凤云、邱艳梅、刘国霞、高明、楚东旭、刘翠、王瑞、姚利忠、梁洪、唐珊珊、王佳    

中国标准分类号:H17半金属及半导体材料分析方法

国际标准分类号:77.040金属材料试验

GB/T 4059-2018《硅多晶气氛区熔基磷检验方法》介绍

GB/T 4059-2018《硅多晶气氛区熔基磷检验方法》于2018年12月28日发布,并自2019年11月1日起正式实施。

一、样品制备

1、样品选择

标准规定了样品的选择原则,要求样品应具有代表性,能够反映整批硅多晶材料的基磷含量。样品的采集应遵循随机抽样的原则,确保检验结果的公正性。

2、样品处理

样品在检验前需要经过适当的处理,包括清洗、干燥和研磨等步骤,以去除表面的杂质和氧化层,确保检验结果的准确性。

二、检验步骤

1、气氛区熔过程

检验方法采用气氛区熔技术,通过控制气氛和温度,使硅多晶材料中的基磷在特定区域富集,便于后续的检测。

2、基磷含量测定

基磷含量的测定通常采用化学分析法或仪器分析法。化学分析法包括滴定法、重量法等,而仪器分析法则包括原子吸收光谱法、质谱法等。标准中详细描述了各种方法的操作步骤和注意事项。

三、结果计算与报告

1、结果计算

检验结果的计算应遵循标准中提供的方法,包括基磷含量的计算公式和误差分析。计算结果应准确到小数点后两位。

2、结果报告

检验报告应包含样品信息、检验方法、检验结果、检验日期、检验人员等关键信息,并由授权的检验人员签字确认。报告格式应符合标准要求,确保信息的完整性和可追溯性。

四、标准的意义

GB/T 4059-2018《硅多晶气氛区熔基磷检验方法》的制定和实施,对于提高硅多晶材料的质量控制水平、保障电子器件的性能和可靠性具有重要意义。它为硅多晶材料的生产和使用提供了一个统一的检验标准,有助于推动整个行业的技术进步和产品质量的提升。

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