《四探针探头通用技术条件》执行标准号

“四探针探头通用技术条件”的标准号是：SJ/T 10315-1992

SJ/T 10315-1992《四探针探头通用技术条件》由中华人民共和国电子工业部于1992-06-15发布，并于1992-12-01实施。

该标准的起草单位为国营建中机器厂、中国计量科学研究院；起草人是张建勇、查名瑞、李达汉、刘学俭、鲁效明、耿玉梅 。

“四探针探头通用技术条件”介绍

四探针探头通用技术条件是针对使用四探针法进行电学性质测量时所采用的探头设备的技术规范。这些条件确保了在进行材料电阻率或半导体特性测量时的精确性和重复性。在制造和校准四探针探头时，需遵循严格的标准，以保证探头的几何尺寸、材料属性以及电气特性满足特定的要求。

四探针探头通常由等间距排列的四个接触点构成，它们必须平行且等间距布置在一条直线上，以确保测量过程中电流均匀地通过样品表面并在中间两个探针之间准确地测得电压降。制造这些探头时选用的材料应具有优良的导电性和足够的机械硬度，以避免在接触样品时产生额外的压力或损伤样品。探头的设计还需考虑到温度稳定性和抗氧化性以适用于不同的测试环境。

在通用技术条件中，还会规定四探针探头的应用领域，如半导体材料、薄膜以及不同形状和大小的块体材料等。为了适应不同的应用场景，四探针探头可能会有不同的设计，包括可调节的探针间距、不同类型的尖端（如尖锐或扁平）来应对不同硬度的样品。同时，这些条件也规定了探头的校准程序，以保证长期使用的可靠性和准确性。