GB/T 29658-2013《电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材》

GB/T 29658-2013《电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材》基本信息

标准号：GB/T 29658-2013

中文名称：《电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材》

发布日期：2013-09-06    

实施日期：2014-05-01

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局  中国国家标准化管理委员会    

归口单位：全国有色金属标准化技术委员(SAC/TC 243)    

起草单位：有研亿金新材料股份有限公司。

起草人：万小勇、罗俊锋、廖赞、尚再艳、杨华、朱晓光、孙秀霖等    

中国标准分类号：H61轻金属及其合金

国际标准分类号：77.120.10铝和铝合金

GB/T 29658-2013《电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材》介绍

《电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材》（GB/T 29658-2013）是一项由中国国家标准化管理委员会和中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局联合制定的国家标准。该标准于2013年9月6日发布，并于2014年5月1日正式实施。

一、技术要求

1、化学成分：靶材的化学成分应符合规定的要求，包括铝、硅、铁、铜、锌、镁、镍等元素的含量。

2、物理性能：靶材的物理性能应满足规定的要求，包括密度、热膨胀系数、导热系数等。

3、微观组织：靶材的微观组织应均匀，无明显的夹杂物和缺陷。

4、表面质量：靶材的表面应平整、光洁，无裂纹、孔洞、氧化等缺陷。

5、尺寸精度：靶材的尺寸精度应符合规定的要求，包括直径、厚度等。

二、试验方法

1、化学成分分析：采用光谱分析、X射线荧光光谱分析等方法对靶材的化学成分进行检测。

2、物理性能测试：采用密度计、热膨胀仪、导热仪等仪器对靶材的物理性能进行测试。

3、微观组织观察：采用金相显微镜、扫描电子显微镜等设备对靶材的微观组织进行观察。

4、表面质量检查：采用目视检查、表面粗糙度测量等方法对靶材的表面质量进行检查。

5、尺寸精度测量：采用卡尺、千分尺等工具对靶材的尺寸精度进行测量。

三、检验规则

1、出厂检验：靶材生产企业应按照规定的项目和方法对产品进行出厂检验，并出具检验报告。

2、型式检验：靶材生产企业应按照规定的周期和项目对产品进行型式检验，并出具型式检验报告。

3、验收检验：使用单位应按照规定的项目和方法对产品进行验收检验，并出具验收检验报告。

4、不合格品处理：对于检验不合格的产品，生产企业应进行返工或报废处理，并记录相关情况。

四、标志、包装、运输和贮存

1、标志：靶材产品应有清晰的产品名称、规格型号、生产日期、生产企业等信息的标志。

2、包装：靶材产品应采用适当的包装方式，确保在运输和贮存过程中不受损。

3、运输：靶材产品在运输过程中应避免碰撞、挤压等损伤，并采取必要的防护措施。

4、贮存：靶材产品应存放在干燥、通风、无腐蚀性气体的环境中，并避免阳光直射。

GB/T 29658-2013《电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材》标准的制定和实施，为电子薄膜材料的生产和应用提供了重要的技术支持和质量保障。通过严格执行该标准，可以提高靶材产品的质量，促进电子薄膜材料行业的健康发展。