




“电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法”的标准号是:GB/T 11446.6-2013
GB/T 11446.6-2013《电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法》由中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会于2013-12-31发布,并于2014-08-15实施。
该标准的起草单位为信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国科学院半导体研究所、中国电子技术标准化研究院、中国电子科技集团公司第四十六研究所;起草人是王奕、褚连青、何秀坤、段曙光、提刘旺、刘筠。
“电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法”介绍
电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法是用于测定在半导体工业中使用的超纯水系统中二氧化硅含量的一种技术。这种方法依赖于分光光度计,该设备能够测量通过样品溶液后特定波长光线的吸光度。需要对样品进行适当的处理以准备分光光度分析,包括可能的稀释和调节pH值,以确保测量的准确性。接着,利用特定的显色剂与样本中的二氧化硅反应生成可检测的复合物,其浓度与吸光度成正比。
在分析过程中,将已知浓度的标准溶液与被测样品进行比较,根据标准曲线来确定样品中二氧化硅的具体浓度。这种比较方法确保了测试结果的准确性和重现性。通过精确控制实验条件和采用高灵敏度的仪器,分光光度测试方法能够为电子级水的质量控制提供快速而准确的分析数据,这对于维持半导体制造流程中所需的超洁净环境至关重要。
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