GB/T 14015-1992《硅--蓝宝石外延片》

GB/T 14015-1992《硅--蓝宝石外延片》基本信息

标准号：GB/T 14015-1992

中文名称：《硅--蓝宝石外延片》

发布日期：1992-01-02    

实施日期：1993-08-01

发布部门：国家技术监督局    

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会    

起草单位：天津半导体技术研究所

中国标准分类号：L90电子技术专用材料

国际标准分类号：29.040.30

GB/T 14015-1992《硅--蓝宝石外延片》介绍

GB/T 14015-1992《硅--蓝宝石外延片》是由国家技术监督局于1992年1月2日发布的一项标准，并于1993年8月1日起正式实施。

一、技术要求

根据GB/T 14015-1992标准，硅-蓝宝石外延片的技术要求主要包括以下几个方面：

1、外延层厚度：外延层厚度应均匀，且满足不同应用场景的需求。

2、外延层纯度：硅-蓝宝石外延片的纯度应达到99.9999%以上，以确保其良好的电学性能。

3、外延层缺陷：外延层的缺陷应尽可能减少，以提高外延片的质量和可靠性。

4、外延层晶格匹配：外延层与蓝宝石衬底之间的晶格匹配度应达到90%以上，以确保外延层的稳定性和可靠性。

5、外延层表面质量：外延层表面应光滑、无明显划痕、无杂质等缺陷。

二、试验方法

GB/T 14015-1992标准规定了硅-蓝宝石外延片的试验方法，主要包括以下几个方面：

1、外延层厚度的测定：采用光谱干涉法或X射线衍射法等方法测定外延层厚度。

2、外延层纯度的测定：采用质谱法、原子吸收光谱法等方法测定外延层纯度。

3、外延层缺陷的测定：采用电子显微镜、X射线衍射等方法测定外延层缺陷。

4、外延层晶格匹配的测定：采用X射线衍射法测定外延层与蓝宝石衬底之间的晶格匹配度。

5、外延层表面质量的测定：采用光学显微镜、扫描电子显微镜等方法测定外延层表面质量。

三、检验规则

GB/T 14015-1992标准规定了硅-蓝宝石外延片的检验规则，主要包括以下几个方面：

1、检验分类：硅-蓝宝石外延片的检验分为出厂检验和型式检验。

2、出厂检验：出厂检验应按照规定的抽样方法和检验项目进行，以确保产品的质量。

3、型式检验：型式检验应按照规定的周期和项目进行，以确保产品的性能和质量。

4、不合格品的处理：对于不合格品，应按照规定的程序进行处理，以保证产品质量。

四、标志、包装、运输和贮存

GB/T 14015-1992标准还规定了硅-蓝宝石外延片的标志、包装、运输和贮存要求，主要包括以下几个方面：

1、标志：硅-蓝宝石外延片应有明显的标志，包括产品名称、规格、生产日期等信息。

2、包装：硅-蓝宝石外延片应采用适当的包装材料进行包装，以保护产品免受损坏。

3、运输：硅-蓝宝石外延片在运输过程中应采取适当的措施，以防止产品受损。

4、贮存：硅-蓝宝石外延片应存放在干燥、通风、无腐蚀性气体的环境中，以保证产品质量。

GB/T 14015-1992《硅--蓝宝石外延片》标准为硅-蓝宝石外延片的生产和质量控制提供了明确的指导，有助于提高产品质量，满足市场需求。